[實用新型]多級磁場和內襯偏壓異形管與多孔擋板復合的過濾裝置有效
| 申請號： | 201822274606.0 | 申請日： | 2018-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN214168114U | 公開（公告）日： | 2021-09-10 |
| 發明（設計）人： | 魏永強;王好平;宗曉亞;劉學申;張新國;蔣志強 | 申請（專利權）人： | 魏永強 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 450015 河南省鄭州市二七*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多級 磁場 內襯 偏壓 異形 多孔 擋板 復合 過濾 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.多級磁場和內襯偏壓異形管與多孔擋板復合的過濾裝置，其特征在于，該裝置包括偏壓電源（1）、弧電源（2）、電弧離子鍍靶源（3）、多級磁場裝置（4）、多級磁場電源（5）、內襯偏壓錐形管、階梯管與多孔擋板組合裝置（6）、內襯偏壓電源（7）、樣品臺（8）、偏壓電源波形示波器（9）和真空室（10）；
該裝置中：
待處理基體工件置于真空室（10）內的樣品臺（8）上，多級磁場裝置（4）、內襯偏壓錐形管、階梯管與多孔擋板組合裝置（6）和真空室（10）之間相互絕緣，工件放置在樣品臺（8），樣品臺（8）接偏壓電源（1）的負極輸出端，電弧離子鍍靶源（3）安裝在真空室（10）上，接弧電源（2）的負極輸出端，多級磁場裝置（4）的各級磁場接多級磁場電源（5）的各個輸出端，正負極接法依據輸出磁場方向進行確定，內襯偏壓錐形管、階梯管與多孔擋板組合裝置（6）接內襯偏壓電源（7）的正極輸出端，電源總控制開關和外部水冷循環系統開啟。
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