[實用新型]一種基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822274520.8
• 申請日: 2018-12-31
• 公開（公告）號: CN209542447U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設計）人: 姚遠;耿安兵;鄒勇華;章侃;袁英豪;郭劼;周正;李淵
• 申請（專利權）人: 華中光電技術研究所（中國船舶重工集團有限公司第七一七研究所）
• 主分類號: G01N21/47
• 分類號: G01N21/47;G01N21/01
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 許美紅

1.一種基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，包括照射光源、拋物面反射鏡組、金屬納米針、樣品臺、大口徑拋物面反射鏡、平面反射鏡組、拋物面反射鏡、探測器；待測樣品置于該樣品臺上，金屬納米針置于該待測樣品上方；

照射光源發(fā)出的光經過拋物面反射鏡組先準直成平行光，再匯聚到樣品臺的下方，光從樣品臺透射到待測樣品上，再從金屬納米針尖處激發(fā)出散射信號，散射信號經放置在其上方的大口徑拋物面反射鏡收集，并準直輸出，準直輸出的光再經過平面反射鏡組入射到拋物面反射鏡，最終將信號匯聚到探測器上。

2.根據(jù)權利要求1所述的基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，照射光源發(fā)出的光為微波、可見光、紅外或太赫茲波。

3.根據(jù)權利要求1所述的基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，照射光源的出射光為平行光或發(fā)散光束。

4.根據(jù)權利要求1所述的基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品臺為可移動樣品臺。

5.根據(jù)權利要求1所述的基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，所述拋物面反射鏡組包括兩正交放置的第一拋物面反射鏡和第二拋物面反射鏡，所述第一拋物面反射鏡的焦點處放置所述照射光源，所述第二拋物面反射鏡位于所述樣品臺下方。

6.根據(jù)權利要求1所述的基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，所述平面反射鏡組包括第一平面反射鏡和第二平面反射鏡，所述第一平面反射鏡將經所述大口徑拋物面反射鏡反射的光，再通過所述第二平面反射鏡反射給所述探測器。

7.根據(jù)權利要求1所述的基于透射方法的散射式近場顯微光學系統(tǒng)，其特征在于，待測樣品置于大口徑拋物面反射鏡的焦點位置處。