[實(shí)用新型]一種新型光刻膠顯影裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822274317.0
• 申請(qǐng)日: 2018-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209590540U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王曉龍;姚俊俊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海彩丞新材料科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/30
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/30
• 代理公司: 嘉興啟帆專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 丁鵬

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型光刻膠顯影裝置，包括基臺(tái)固定架、光刻膠板固定架、顯影液罐、超純水罐、緩沖槽以及液體流通口；所述顯影液罐、超純水罐選擇性的與所述緩沖槽連通，所述緩沖槽內(nèi)的液體通過(guò)液體流通口與外部連通；所述液體流通口位于光刻膠板固定架上方，顯影工藝是通過(guò)顯影液與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成紋理圖案，由于本裝置顯影時(shí)顯影液均勻的流過(guò)光刻膠表面，避免了顯影不均勻和光刻圖案上殘留氣泡的問(wèn)題，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于顯影裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是涉及一種新型光刻膠顯影裝置。

背景技術(shù)

光刻是現(xiàn)代微納加工技術(shù)中的重要一環(huán)，作為光刻后的一道重要工藝，如何完美無(wú)瑕疵的在光刻膠板上呈現(xiàn)出光刻圖案是顯影工藝追求的目標(biāo)。傳統(tǒng)的顯影工藝采用將光刻板放入顯影盆，靜止或手搖的方式顯影，靜止顯影存在顯影可能不完全的問(wèn)題，手搖顯影存在手搖速度不穩(wěn)定，導(dǎo)致顯影不均的問(wèn)題。且都有可能在顯影過(guò)程中在圖案區(qū)產(chǎn)生氣泡。

綜上所述，為解決光刻膠板的顯影問(wèn)題，使光刻膠板的顯影方便易操作，同時(shí)由于顯影時(shí)顯影液均勻接觸光刻膠板，避免了傳統(tǒng)顯影方法時(shí)顯影不均勻和光刻圖案上殘留氣泡的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種新型光刻膠顯影裝置，其可以方便的進(jìn)行光刻膠板的顯影操作，有效避免傳統(tǒng)顯影方法顯影不均勻和光刻圖案上殘留氣泡的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種新型光刻膠顯影裝置，包括基臺(tái)固定架、光刻膠板固定架、顯影液罐、超純水罐、緩沖槽以及液體流通口；

所述顯影液罐、超純水罐選擇性的與所述緩沖槽連通，所述緩沖槽內(nèi)的液體通過(guò)液體流通口與外部連通；

所述液體流通口位于光刻膠板固定架上方。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述顯影液罐、超純水罐與所述緩沖槽的連通通路中設(shè)置有液體流量閥。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述光刻膠板固定架由第一光刻膠板固定桿、第一固定桿導(dǎo)向架、第二光刻膠板固定桿、第二固定桿導(dǎo)向架、第三光刻膠板固定桿、第三固定桿導(dǎo)向架依次連接后圍合成矩形狀，所述第一光刻膠板固定桿、第二光刻膠板固定桿、第三光刻膠板固定桿的內(nèi)側(cè)均開(kāi)設(shè)有固定卡槽，光刻膠板的邊緣被接納在所述固定卡槽內(nèi)。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：還包括鎖緊機(jī)構(gòu)，所述第一固定桿導(dǎo)向架、第二固定桿導(dǎo)向架、第三固定桿導(dǎo)向架開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向槽，所述第一光刻膠板固定桿、第二光刻膠板固定桿、第三光刻膠板固定桿可分別在其連接端的所述第一固定桿導(dǎo)向架、第二固定桿導(dǎo)向架、第三固定桿導(dǎo)向架內(nèi)的導(dǎo)向槽內(nèi)滑動(dòng)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)可選擇性的限制所述第一固定桿導(dǎo)向架、第二固定桿導(dǎo)向架、第三固定桿導(dǎo)向架的滑動(dòng)。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述鎖緊機(jī)構(gòu)包含多個(gè)鎖緊螺釘，所述第一固定桿導(dǎo)向架、第二固定桿導(dǎo)向架、第三固定桿導(dǎo)向架分別在靠近其兩端部且一垂直其軸線的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有螺紋孔，所述鎖緊螺釘螺紋連接于所述螺紋孔內(nèi)，旋緊所述鎖緊螺釘可將所述第一光刻膠板固定桿、第二光刻膠板固定桿、第三光刻膠板固定桿頂緊在所述導(dǎo)向槽內(nèi)。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述第一光刻膠板固定桿和第三光刻膠板固定桿為直角狀且二者相鄰，所述第二光刻膠板固定桿為條狀且位于所述第一光刻膠板固定桿和第三光刻膠板固定桿的相對(duì)側(cè)。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述光刻膠板固定架與水平面呈45°傾斜。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述液體流通口為扁平口。