[實用新型]一種翻轉裝置有效
| 申請號: | 201822266695.4 | 申請日: | 2018-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN209374420U | 公開(公告)日: | 2019-09-10 |
| 發明(設計)人: | 李久林;雷茜;鄧紅華;王理林;陽小冬 | 申請(專利權)人: | 深圳眼千里科技有限公司;江西眼千里智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/66 |
| 代理公司: | 深圳市鼎泰正和知識產權代理事務所(普通合伙) 44555 | 代理人: | 代春蘭 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍崗*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 翻轉臺 翻轉裝置 壓緊組件 本實用新型 端面運動 驅動組件 料盤 端面間隔 工件載板 固定工件 固定間隙 接收臺 翻轉 載板 轉動 裝載 承載 芯片 | ||
1.一種翻轉裝置,其特征在于,包括工件載板、翻轉臺、接收臺、壓緊組件以及翻轉臺驅動組件,翻轉臺用于承載裝載芯片的料盤;壓緊組件可向著靠近或者遠離翻轉臺的端面運動;壓緊組件用于在向著靠近翻轉臺的端面運動后與翻轉臺的端面間隔形成用于固定工件載板的固定間隙;翻轉臺驅動組件用于帶動翻轉臺轉動至接收臺上。
2.如權利要求1所述的翻轉裝置,其特征在于,壓緊組件包括壓緊臂以及壓緊臂氣缸,壓緊臂包括驅動臂段以及壓臂段;壓緊臂氣缸的缸體固定于翻轉臺的底端,壓緊臂氣缸的活塞桿沿翻轉臺的寬度方向延伸并與驅動臂段的底端固定;驅動臂段的頂端與壓臂段連接;壓緊臂位于翻轉臺的上方并用于與翻轉臺的端面形成所述固定間隙。
3.如權利要求1所述的翻轉裝置,其特征在于,翻轉臺驅動組件包括翻轉電機以及轉動軸,轉動軸的軸線沿水平方向延伸;轉動軸樞接于機體上并與翻轉電機的轉軸同步聯接;翻轉臺與接收臺位于轉動軸的兩側;翻轉臺與轉動軸聯接。
4.如權利要求3所述的翻轉裝置,其特征在于,翻轉臺驅動組件還可包括同步帶、兩個同步輪,兩個同步輪均樞接于機體上并沿機體的高度方向間隔分布;同步帶的兩端分別繞設于兩個同步輪上;其中一個同步輪與機體的轉軸聯接;所述轉動軸與另一個同步輪聯接。
5.如權利要求1所述的翻轉裝置,其特征在于,所述翻轉臺的兩側均設有至少兩個所述壓緊組件。
6.如權利要求1所述的翻轉裝置,其特征在于,工件載板上設有多個工件槽。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





