[實用新型]一種ITO蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201822259148.3
• 申請日: 2018-12-30
• 公開（公告）號: CN209497698U
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 蘭凱鋒
• 申請（專利權）人: 湖北仁齊科技有限公司
• 主分類號: H05K3/02
• 分類號: H05K3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種ITO蝕刻裝置，其特征在于，包括：

操作臺，其包括臺面和設在臺面底部用于支撐的多個支腳，臺面為長方形，其頂面上沿長度方向設有平行并排的兩條條形凹槽；

滑動座，其為設在臺面上的方形座，底部設卡塊卡在條形凹槽內使其可沿條形凹槽滑動，滑動座上設用于固定物料的物料臺和用于對物料臺上的物料進行蝕刻的蝕刻機構；

氣缸，其設在臺面上且沿條形凹槽的長度方形位于滑動座的一側，氣缸與滑動座之間通過活塞桿連接用于帶動滑動座沿條形凹槽滑動；

隔離箱，其沿條形凹槽的長度方向位于滑動座的另一側，隔離箱是長方體狀內中空的透明箱體，其朝向滑動座的一側開口，隔離箱的內寬與滑動座的寬度相同，滑動座在氣缸推動下沿條形凹槽進入隔離箱內，隔離箱的頂壁上在靠近滑動座的一側開有一個長度與其內寬相同的長方形開口，隔離箱的頂部還設有用于吸收其內部煙氣的煙氣吸收裝置；

隔離板，其為長方形板體，寬度與隔離箱頂壁上長方形開口的寬度相同，長度與隔離箱的內寬相同，隔離板自長方形開口處插入隔離箱內。

2.根據權利要求1所述的ITO蝕刻裝置，其特征在于，蝕刻結構包括用于對物料臺上的物料進行蝕刻的激光發射器和用于帶動激光發射器移動到不同位置的動力機構。

3.根據權利要求1所述的ITO蝕刻裝置，其特征在于，滑動座的頂面上在靠近氣缸的一側設有一條與條形凹槽垂直的凹陷的密封槽，密封槽的寬度與隔離板的寬度相同。

4.根據權利要求1所述的ITO蝕刻裝置,其特征在于，煙氣吸收裝置包括用于將隔離箱內煙氣抽出的抽氣泵以及將抽出的煙氣吸收的尾氣處理箱，隔離箱、抽氣泵及尾氣處理箱之間通過管道連接。

5.根據權利要求1所述的ITO蝕刻裝置，其特征在于，隔離板的高度大于隔離箱的高度。