[實用新型]一種負壓氣除霧裝置

有效

• 申請號: 201822258474.2
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN210057789U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 陳俊山
• 申請（專利權）人: 浙江兆泰環境科技股份有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00;B01D46/00
• 代理公司: 33269 杭州聚邦知識產權代理有限公司
• 代理人: 蔣全強

本實用新型公開了一種負壓氣除霧裝置，包括底板、負壓泵、霧氣液化箱，所述底板下方四角固定安裝有萬向輪，所述底板一側側面上固定安裝有推手，所述底板上表面固定安裝有所述負壓泵、蓄電池和蓄水箱，所述負壓泵輸入端密封連接有吸霧管，所述吸霧管遠離所述負壓泵的一端密封連接有濾罩，所述蓄水箱上表面固定安裝有所述霧氣液化箱和空氣凈化器，所述霧氣液化箱內部固定安裝有半導體制冷片，所述霧氣液化箱一側面密封連接有連接管。有益效果在于：1、通過設置濾罩防止吸霧時誤吸入其他雜物影響使用；2、通過設置半導體制冷片，使霧氣遇到冷物體液化；3、通過設置空氣凈化器將空氣凈化后再排出。

技術領域

本實用新型涉及除霧技術領域，特別是涉及一種負壓氣除霧裝置。

背景技術

在機械加工中，很多都需要對設備或者工件進行冷卻，半導體的生產過程中，在開始工序中需要先切割晶圓，在切割晶圓的過程中，一般都使用半導體切片設備，該設備中使用精密的切割器，為了避免高熱破壞晶片，必須使用冷卻液對切割器進行噴射冷卻，在噴射冷卻過程中所噴出的均為水霧，但由于噴射的水霧有一定的壓力，而且水在降溫過程中遇熱汽化，在對晶圓進行冷卻后還會繼續擴散至整個作業空間，會導致半導體切片設備的其它部分和室內其他設備受潮，市面上一些除霧裝置，結構簡單，除霧效果差，不便于移動，而且功能單一只是單純的除霧。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種負壓氣除霧裝置。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的：

一種負壓氣除霧裝置，包括底板、負壓泵、霧氣液化箱，所述底板下方四角固定安裝有萬向輪，所述底板一側側面上固定安裝有推手，所述底板上表面固定安裝有所述負壓泵、蓄電池和蓄水箱，所述負壓泵的型號為T6C-020-2R01-B1，所述負壓泵輸入端密封連接有吸霧管，所述吸霧管遠離所述負壓泵的一端密封連接有濾罩，所述蓄水箱上表面固定安裝有所述霧氣液化箱和空氣凈化器，所述空氣凈化器的型號為KH1500，所述霧氣液化箱內部固定安裝有半導體制冷片，所述霧氣液化箱一側面密封連接有連接管，所述連接管遠離所述霧氣液化箱的一端與所述負壓泵的輸出端密封連接，所述霧氣液化箱另一側面密封連接有出氣管和出水管，所述出水管位于所述霧氣液化箱底部，所述出水管另一端延伸至所述蓄水箱內部，所述出氣管遠離所述霧氣液化箱的一端與所述空氣凈化器密封連接，所述空氣凈化器輸出端密封連接有排氣管，所述蓄水箱側面固定安裝有控制面板，所述蓄水箱下部側面密封連接有排水管，所述排水管上密封連接有閥門，所述蓄電池與所述控制面板通過電性連接，所述負壓泵、所述半導體制冷片和所述空氣凈化器分別與所述控制面板通過電性連接。

優選的：所述吸霧管為金屬定型軟管。

如此設置，調節所述吸霧管將所述濾罩置于霧氣較濃處，利于除霧。

優選的：所述半導體制冷片的數量為五到十個。

如此設置，所述半導體制冷片制冷，使霧氣液化除去。

優選的：所述濾罩的材料為不銹鋼。

如此設置，所述濾罩避免雜物被誤吸進負壓泵。

優選的：所述控制面板上鑲嵌有顯示屏和按鍵。

如此設置，方便操作所述控制面板控制進行除霧。

優選的：所述底板和所述推手的材料均為木料。

如此設置，推拉所述推手方便移動，所述底板用來支撐。

有益效果在于：1、通過設置濾罩防止吸霧時誤吸入其他雜物影響使用；2、通過設置半導體制冷片，使霧氣遇到冷物體液化；3、通過設置空氣凈化器將空氣凈化后再排出。

附圖說明