[實用新型]一種管芯定位基板和管芯定位系統

有效

• 申請號: 201822258271.3
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209216942U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 孫啟亮
• 申請（專利權）人: 北京燕東半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/66
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 張雪梅

本實用新型公開了一種管芯定位基板和管芯定位系統，所述管芯定位基板包括基板本體、位于所述基板本體上的管芯樣品設置區和信息區，其中所述管芯樣品設置區，用于承載管芯樣品，所述管芯樣品與所述基板本體一一對應；所述信息區，用于表征所述管芯定位基板的標識信息。本實用新型提供的實施例通過管芯定位基板能夠快速定位管芯放置的位置，同時有效減少測量時間和測量次數，有效提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及芯片制作技術領域，特別是涉及一種管芯定位基板和管芯定位系統。

背景技術

目前在芯片制作過程中，通常將集成電路中制作集成塊所用的管芯制作成管芯樣品，在批量生產過程中根據所述管芯樣品進行制作。例如將管芯樣品放入生產設備中，通過對管芯樣品進行掃描和測量確定管芯樣品的位置和偏差值。然而由于不同的管芯樣品具有不同的引腳、尺寸和封裝，僅僅使用管芯樣品不能充分反映所述管芯樣品的特征。

因此需要一種與所述管芯樣品配套使用的、能夠反映管芯樣品引腳、尺寸和封裝特征的基板解決上述問題。

實用新型內容

為了解決上述問題至少之一，本實用新型第一方面提供一種管芯定位基板，包括基板本體、位于所述基板本體上的管芯樣品設置區和信息區，其中

所述管芯樣品設置區，用于承載管芯樣品，所述管芯樣品與所述基板本體一一對應；

所述信息區，用于表征所述管芯定位基板的標識信息。

進一步的，所述管芯樣品設置區包括多個與所述管芯樣品對應的凸起和插槽以固定所述管芯樣品。

進一步的，所述管芯定位基板還包括用于標記所述管芯樣品方向的方向標識。

進一步的，所述管芯定位基板還包括用于標記所述管芯樣品旋轉角度的旋轉標識。

進一步的，所述基板本體包括陣列排布的標記點，用于表征所述管芯樣品設置區的位置。

進一步的，所述標識信息包括所述管芯定位基板的名稱、型號、所述管芯樣品位于所述管芯定位基板的所述標記點的位置信息。

進一步的，所述標識信息還包括所述管芯樣品固定在所述管芯樣品設置區的位置偏差和旋轉角度偏差。

進一步的，所述管芯定位基板還包括殼體。

本實用新型第二方面提供一種管芯定位系統，包括管芯樣品和與所述管芯樣品一一對應的第一方面所述的管芯定位基板。

進一步的，所述管芯定位系統還包括密封包裝盒。

本實用新型的有益效果如下：

本實用新型針對目前現有的問題，制定一種管芯定位基板和管芯定位系統，通過管芯定位基板確定所述管芯樣品的引腳、尺寸和封裝的特征，快速定位管芯放置的位置，從而有效彌補了現有技術中的問題，同時在芯片制作過程中有效減少測量時間和測量次數、提高生產效率。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的說明。

圖1示出本實用新型的一個實施例所述管芯定位基板的結構示意圖；

圖2示出本實用新型的一個實施例所述管芯定位系統的結構框圖。

具體實施方式

為了更清楚地說明本實用新型，下面結合優選實施例和附圖對本實用新型做進一步的說明。附圖中相似的部件以相同的附圖標記進行表示。本領域技術人員應當理解，下面所具體描述的內容是說明性的而非限制性的，不應以此限制本實用新型的保護范圍。