[實用新型]一種單面冷光源曝光機有效
| 申請號： | 201822256542.1 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN209433181U | 公開（公告）日： | 2019-09-24 |
| 發明（設計）人： | 初亞東 | 申請（專利權）人： | 天津天物金佰微電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;F21V29/56;F21V21/14;F21Y115/10 |
| 代理公司： | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人： | 劉瑩 |
| 地址： | 300000 天津市西青*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 支架 冷光源 曝光機 本實用新型 機械式快門 凸鏡 汞燈光源 水平固定 載片臺 上端 下端 載片 過量 照射 穿過 積累 | ||
1.一種單面冷光源曝光機，其特征在于：包括支架、載片臺、凸鏡、機械式快門和LED紫外光源；
所述載片臺水平固定在所述支架的下端，所述LED紫外光源固定在所述支架的上端，該LED紫外光源的光線依次穿過水平固設在支架上的機械式快門和凸鏡照射在載片臺上。
2.根據權利要求1所述的單面冷光源曝光機，其特征在于：所述凸鏡為雙平凸鏡組。
3.根據權利要求1所述的單面冷光源曝光機，其特征在于：還包括光源距離調節尺，所述光源距離調節尺豎直固定在所述支架上，并位于所述LED紫外光源及雙平凸鏡組的一側。
4.根據權利要求1所述的單面冷光源曝光機，其特征在于：還包括水冷式散熱器，所述水冷式散熱器包括水循環管和水箱，所述水循環管環繞LED紫外光源固定，其進出口接入水箱，且所述水箱固定在支架的外側。
5.根據權利要求1所述的單面冷光源曝光機，其特征在于：所述LED紫外光源通過距離調節機構固定在所述支架上。
6.根據權利要求5所述的單面冷光源曝光機，其特征在于：所述距離調節機構包括螺桿、螺桿套筒、齒輪、齒輪軸和旋鈕；
所述支架的上端水平設有兩相互平行的支撐板，位于下方的支撐板的中部設有一固定通孔；
所述螺桿套筒豎直固定在所述固定通孔中；
所述螺桿插在所述螺桿套筒內，并與所述螺桿套筒螺紋配合，該螺桿的上端固定有與該螺桿同軸轉動的齒輪；
所述齒輪軸豎直可轉動固定在兩支撐板之間，并與所述齒輪嚙合；
所述旋鈕可轉動固定在位于上方的支撐板上，并穿過該位于上方的支撐板與所述齒輪軸同軸固定連接。
7.根據權利要求3所述的單面冷光源曝光機，其特征在于：所述LED紫外光源的側面上可轉動卡設有一測量桿，所述測量桿末端的下側與所述LED紫外光源的下端齊平，所述光源距離調節尺的一側設有一豎直方向的滑行框，所述測量桿末端可上下滑動地卡設在所述滑行框內。
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