[實用新型]晶體生長的加熱裝置及生長裝置

有效

• 申請號: 201822255084.X
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209584423U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 段滿龍;趙有文
• 申請（專利權）人: 珠海鼎泰芯源晶體有限公司
• 主分類號: C30B29/40
• 分類號: C30B29/40;C30B11/00
• 代理公司: 廣東朗乾律師事務所 44291
• 代理人: 閆有幸;楊煥軍

1.一種晶體生長的加熱裝置，其特征在于，包括從上到下依次設置的多個獨立的加熱單元；每個加熱單元均包括殼體、保溫層及加熱爐絲；所述殼體為空心柱體；每個加熱單元的殼體表面分別螺旋纏繞有所述加熱爐絲；所述保溫層設在所述殼體與加熱爐絲外；上下相鄰的兩個加熱單元可拆卸連接；多個加熱單元的殼體圍成一空腔。

2.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，還包括爐體上口、爐體下口；所述爐體上口與所述爐體下口均為空心柱體；所述加熱裝置中，位于頂部的加熱單元的頂端與所述爐體上口可拆卸連接，位于底部的加熱單元的底端與所述爐體下口可拆卸連接，所述爐體上口、多個加熱單元以及所述爐體下口連接后同軸。

3.根據權利要求2所述的加熱裝置，其特征在于，每個加熱單元的所述殼體及爐體上口、爐體下口均為空心圓柱體，所述可拆卸連接的連接方式為使用金屬卡環卡扣連接。

4.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，還包括加熱控制器，所述加熱控制器用于控制加熱所述加熱爐絲。

5.根據權利要求4所述的加熱裝置，其特征在于，所述加熱控制器的數量為一個，每個加熱單元分別連接所述加熱控制器、或所述多個加熱單元的加熱爐絲串聯后連接所述加熱控制器。

6.根據權利要求4所述的加熱裝置，其特征在于，所述加熱控制器的數量與加熱單元的數量相同，每個加熱單元分別連接一個加熱控制器。

7.一種晶體生長裝置，其特征在于，包括加熱裝置、內部支撐結構及生長管，所述加熱裝置為權利要求3～6任意一項所述的加熱裝置，所述內部支撐結構放置在所述加熱裝置的所述空腔內，所述內部支撐結構為具有一個生長管容納腔的圓柱體，所述生長管放置于所述生長管容納腔內。

8.根據權利要求7所述的晶體生長裝置，其特征在于，還包括同心度調整單元，所述同心度調整單元設置于每個加熱單元的所述殼體內壁，用于調整每個加熱單元與所述內部支撐結構的同心度。

9.根據權利要求8所述的晶體生長裝置，其特征在于，每個加熱單元對應的同心度調整單元均為兩組，分別位于所述加熱單元的殼體內壁的頂端與底端，沿殼體內壁的圓周方向設置。

10.根據權利要求9所述的晶體生長裝置，其特征在于，每組同心度調整單元包括多個調整模塊，所述多個調整模塊沿所述殼體內壁的圓周方向等間距設置。