[實用新型]一種軟X射線顯微成像裝置

有效

• 申請號: 201822254814.4
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209656591U
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發明（設計）人: 鄭睿;劉煒;謝慶國;肖鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞派寧科技有限公司
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述軟X射線顯微成像裝置包括：

軟X射線光源，所述軟X射線光源包括真空靶室、制冷腔和噴嘴，所述制冷腔和所述噴嘴容置于所述真空靶室內，所述真空靶室具有相對的兩個出口，所述噴嘴設置于所述制冷腔上，

真空單元，所述真空單元包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵分別與所述真空靶室的兩個出口連接；

激光單元，所述激光單元包括脈沖激光發生器以及激光聚焦鏡，所述脈沖激光發生器發出的激光經過所述激光聚焦鏡后聚焦于所述噴嘴處；

反射單元，所述反射單元具有第二反射鏡，所述反射單元與所述真空靶室連通；

樣本室，所述樣本室與所述真空靶室連通，所述樣本室內容置毛細玻璃管，所述毛細玻璃管的位置與所述噴嘴以及所述反射鏡的焦點對應；以及

探測器，所述探測器與所述樣本室連接并與所述毛細玻璃管的位置對應。

2.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述軟X射線顯微成像裝置還包括三維位移機構，所述三維位移機構分別與所述制冷腔和所述真空靶室連接。

3.根據權利要求2所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述三維位移機構包括支撐板、第一位移調節器、第二位移調節器以及第三位移調節器，所述第一位移調節器、第二位移調節器以及第三位移調節器均設置于所述支撐板與所述真空靶室之間并分別控制所述支撐板沿相互垂直的三個方向移動。

4.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述真空靶室包括：

三通管，所述三通管具有相對的第一出口和第二出口以及位于所述第一出口和所述第二出口之間的第三出口，所述第一出口與支撐板連接，制冷劑入口管道、制冷劑出口管道以及工作氣體管道分別穿過所述支撐板并與所述制冷腔連接，所述第三出口與所述第一真空泵連接；以及

多通管，所述多通管包括相對的頂部開口和底部開口以及位于所述頂部開口與所述底部開口之間的若干個側面開口，所述頂部開口與所述第二出口緊密連接，所述底部開口處設置有與所述第二真空泵連接的真空出口，所述噴嘴的位置與所述側面開口對應，所述噴嘴下方設置有凹槽，所述凹槽通過轉接頭固定，所述轉接頭設置于所述真空出口處，所述凹槽與所述真空出口連通。

5.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述真空單元還包括真空控制器，所述真空控制器分別與所述第一真空泵和所述第二真空泵連接。

6.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述激光單元還包括第一反射鏡，所述第一反射鏡設置于所述脈沖激光發生器和所述激光聚焦鏡之間以傳導激光光路。

7.根據權利要求6所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述脈沖激光發生器下方設置有升降臺，所述第一反射鏡下方設置有第一調節器，所述激光聚焦鏡下方設置有第二調節器。

8.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述反射單元包括第三支架、第三螺紋桿以及盲板，所述第三螺紋桿設置于所述第三支架上，所述盲板設置于所述第三螺紋桿上，所述第二反射鏡安裝于所述盲板上。

9.根據權利要求8所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述第三螺紋桿上設置有與所述第三螺紋桿配合的多個第三螺栓，所述第三螺栓分別位于所述盲板的兩側。

10.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像裝置，其特征在于，所述樣本室包括樣本室外殼，所述樣本室外殼的相對的兩個側壁分別與所述真空靶室和所述探測器連接，所述樣本室內設置有毛細玻璃管和光闌管，所述光闌管內具有沿軸線方向延伸的光闌孔，所述光闌孔的一端對應所述毛細玻璃管，所述光闌孔的另一端對應所述探測器，所述噴嘴、所述第二反射鏡的焦點、所述毛細玻璃管的頂端以及所述光闌孔位于同一條水平線上。