[實用新型]一種原子層沉積裝置

有效

• 申請號: 201822252195.5
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN210163520U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 李丙科
• 申請（專利權）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/455;C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種原子層沉積裝置，包括安裝臺(1)、加熱腔室(2)和氣體過濾裝置(3)，其特征在于：在所述安裝臺進料端設置有預熱腔(4),所述安裝臺(1)上設有用于放置載片舟的載舟板(5)，所述載片舟包括載片舟本體(6)，所述載片舟本體(6)上端面設有若干內凹的凹槽，所述凹槽尺寸略大約硅片(8)的尺寸，所述載片舟安裝在托架結構上后放置在所述載舟板(5)上。

2.根據權利要求1所述的原子層沉積裝置，其特征在于：所述預熱腔(4)預熱溫度設置為180-220℃。

3.根據權利要求1所述的原子層沉積裝置，其特征在于：所述托架結構包括托架本體(7)，所述托架本體(7)包括左右設置的側板，所述側板相對的內側設有卡槽。

4.根據權利要求1所述的原子層沉積裝置，其特征在于：所述載片舟本體(6)和托架本體(7)為航空鋁材、碳纖維材質或石墨材質。

5.根據權利要求3所述的原子層沉積裝置，其特征在于：所述托架本體(7)為垂直設置的三列，列與列之間共用一塊所述側板。