[實用新型]一種耐高壓測試探針臺

有效

• 申請號: 201822251951.2
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209417104U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 鄧鵬
• 申請（專利權）人: 樂山嘉洋科技發展有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 鄧小兵

1.一種耐高壓測試探針臺，包括設電腦主機（1）、承片臺（2）、顯示屏（3）、掃描物鏡（4）、測試主機（5）以及電氣控制系統的機架（14），顯示屏（3）、掃描物鏡（4）和測試主機（5）均連接電腦主機（1），承片臺（2）上設真空吸附裝置，測試主機（5）的移動探針座（6）設于機架（14）上，移動探針座（6）上設測試探針（7），真空吸附裝置和移動探針座（6）均通過電氣控制系統連接電腦主機（1），其特征在于：所述測試主機（5）為3KV高壓測試機；在所述機架（14）上設有機玻璃防護罩（8），承片臺（2）、掃描物鏡（4）、測試探針（7）、移動探針座（6）均設于有機玻璃防護罩（8）內，在該有機玻璃防護罩（8）內的機架（14）上設連接外部氣源的氮氣管接口，氮氣管接口的開關閥連接電氣控制系統。

2.根據權利要求1所述的一種耐高壓測試探針臺，其特征在于：在所述有機玻璃防護罩（8）內設上料舟（9）、下料舟（10）以及機械手（11），上料舟（9）和下料舟（10）分別位于測試探針（7）的兩側，并通過支撐架（12）設于機架（14）上；機械手（11）由電氣控制系統控制并實現上料舟（9）與承片臺（2）、下料舟（10）與承片臺（2）的自動換料。

3.根據權利要求2所述的一種耐高壓測試探針臺，其特征在于：在所述上料舟（9）與下料舟（10）上均設有連接電腦主機（1）的芯片數量感應器。

4.根據權利要求1所述的一種耐高壓測試探針臺，其特征在于：在所述機架（14）上設有連接電腦主機（1）的聲光提示裝置（13）。