[實用新型]一種芯粒抓取裝置

有效

• 申請號: 201822249450.0
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209691724U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 黃文嘉;鄧有財;張中英
• 申請（專利權）人: 廈門三安光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687;H01L33/48
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯粒抓取裝置，包括頂針系統和吸筆，所述頂針系統包括一頂針、一支架，所述支架上放置有上表面粘附芯粒的膠膜，所述吸筆位于芯粒上方用來抓取芯粒，所述芯粒抓取裝置的作用為進行芯粒、膠膜分離，所述頂針用于頂起膠膜上的芯粒，其特征在于，頂針具有可活動的滾珠或者滾輪，利用滾珠或滾輪與膠膜接觸。

2.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，頂針與一溫度調節器連接，溫度調節器工作時對頂針進行加熱或冷卻。

3.根據權利要求2所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述溫度調節器直接或者間接對滾珠或滾輪加熱或冷卻。

4.根據權利要求2所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述溫度調節器加熱或冷卻的頂針在工作時，與芯粒下方的膠膜接觸，以降低膠膜對芯粒的粘附性，通過所述吸筆抓取膠膜上的芯粒。

5.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述膠膜在大于等于10℃至小于80℃，或者大于等于80至小于等于150℃不會被破壞。

6.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述膠膜上表面含有粘劑，所述粘劑在5~35℃溫度范圍具備粘附性，當粘劑在35~150℃溫度范圍粘附性下降。

7.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述頂針位于支架中央，頂針頂端為弧面或者球面。

8.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述支架用來吸附膠膜下表面。

9.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，所述芯粒抓取裝置還包括行程控制系統，所述行程控制系統通過影像識別技術控制頂針和吸筆精確移動。

10.根據權利要求1所述的一種芯粒抓取裝置，其特征在于，滾珠或滾輪位于頂針頂端，頂針與芯片下方的膠膜滾動接觸。

11.一種頂針，用于芯粒分選工藝，其特征在于，具有可活動的滾珠或者滾輪，滾珠或滾輪位于頂針頂端，頂針與芯片下方的膠膜滾動接觸。