[實用新型]一種氮化鎵與金剛石膜的復合散熱結構有效
| 申請號： | 201822247410.2 | 申請日： | 2018-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN209312750U | 公開（公告）日： | 2019-08-27 |
| 發明（設計）人： | 王忠強;丁雄傑;王琦;張國義;李成明 | 申請（專利權）人： | 北京大學東莞光電研究院 |
| 主分類號： | H01L23/373 | 分類號： | H01L23/373;H01L23/367 |
| 代理公司： | 東莞恒成知識產權代理事務所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 鄧燕 |
| 地址： | 523808 廣東省東莞市松*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金剛石膜 氮化鎵晶片 盲孔 氮化鎵晶體 復合散熱結構 本實用新型 氮化鎵 附著力 氮化鎵晶體表面 金剛石膜沉積 凹凸結構 膨脹系數 不一致 導熱率 熱導率 熱應力 散熱 生長 形變 沉積 | ||
【權利要求書】：
1.一種氮化鎵與金剛石膜的復合散熱結構，其特征在于，包括氮化鎵晶片和金剛石膜，氮化鎵晶片凹設有若干個盲孔，金剛石膜沉積生長在氮化鎵晶片和盲孔表面。
2.根據權利要求1所述的一種氮化鎵與金剛石膜的復合散熱結構，其特征在于，所述盲孔的直徑設置為0～400微米。
3.根據權利要求1所述的一種氮化鎵與金剛石膜的復合散熱結構，其特征在于，所述盲孔的深度設置為0～100微米。
4.根據權利要求1所述的一種氮化鎵與金剛石膜的復合散熱結構，其特征在于，金剛石膜的厚度設置為50～100微米。
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