[實(shí)用新型]用于基板傳送系統(tǒng)的提升機(jī)構(gòu)及基板傳送系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822247107.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209872224U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡偉;周繼偉;李偉;柯昌燈
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B66F7/02
• 分類(lèi)號(hào): B66F7/02;B66F7/28
• 代理公司: 11250 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 朱靜謙

本實(shí)用新型涉及提升機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于基板傳送系統(tǒng)的提升機(jī)構(gòu)。所述提升機(jī)構(gòu)包括：至少一對(duì)鏈輪組件，每一對(duì)鏈輪組件中的兩個(gè)分別設(shè)置在支撐架的兩側(cè)；所述支撐架用于固定待提升的基板；所述鏈輪組件包括第一滾輪、第二滾輪和繞設(shè)在所述第一滾輪和第二滾輪上的鏈條；所述第一滾輪設(shè)置于基板提升的起始位置的下方，所述第二滾輪設(shè)置于基板提升的目標(biāo)位置的上方，所述鏈輪組件的鏈條均與所述支撐架連接；驅(qū)動(dòng)組件，與所述第一滾輪或第二滾輪連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第一滾輪或第二滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，以通過(guò)所述鏈條帶動(dòng)所述支撐架上升或下降。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中提升機(jī)構(gòu)易損壞，使用壽命短的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及提升機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于基板傳送系統(tǒng)的提升機(jī)構(gòu)及基板傳送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

磁控濺射設(shè)備的工作原理是采用高能量粒子轟擊靶材表面，使靶材發(fā)生濺射，濺射飛散的材料粒子附著于基板上制成薄膜。其中，基板例如可以是大尺寸的玻璃。

在現(xiàn)有的磁控濺射設(shè)備中，基板傳送系統(tǒng)包括基板裝載機(jī)構(gòu)和提升機(jī)構(gòu)。其中，基板裝載機(jī)構(gòu)用于固定基板，提升機(jī)構(gòu)用于提升基板以及固定基板的基板裝載機(jī)構(gòu)。裝載基板后，基板裝載機(jī)構(gòu)總的重量比較大，例如約為100kg。已有提升機(jī)構(gòu)通常利用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)基板裝載機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)。當(dāng)使用一根滾珠絲杠時(shí)，滾珠絲杠一般需要設(shè)置于整個(gè)裝置的中部，但這樣不利于基板裝載機(jī)構(gòu)進(jìn)出腔室；而且滾珠絲杠中的滾珠承受的壓力過(guò)大，可能會(huì)出現(xiàn)破碎現(xiàn)象。當(dāng)使用兩根以上的滾珠絲杠，例如兩根滾珠絲杠時(shí)，則由于兩根滾珠絲杠對(duì)應(yīng)的馬達(dá)存在微小的異步，這會(huì)導(dǎo)致套設(shè)在一根或兩根滾珠絲杠端部的軸套偏斜，導(dǎo)致滾珠絲杠的表面出現(xiàn)褶皺，滾珠絲杠的表面褶皺會(huì)強(qiáng)烈地?cái)D壓滾珠，最終可能會(huì)導(dǎo)致滾珠碎裂，提升機(jī)構(gòu)停止運(yùn)轉(zhuǎn)；當(dāng)滾珠絲杠為多根時(shí)，更容易出現(xiàn)馬達(dá)不同步的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

因此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種不易損壞，且可以長(zhǎng)時(shí)間使用的用于基板傳送系統(tǒng)的提升機(jī)構(gòu)及具有其的基板傳送系統(tǒng)，從而克服現(xiàn)有技術(shù)中基板傳送系統(tǒng)的提升機(jī)構(gòu)易損壞，使用壽命短的缺陷。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了用于基板傳送系統(tǒng)的提升機(jī)構(gòu)，包括：

至少一對(duì)鏈輪組件，每一對(duì)鏈輪組件中的兩個(gè)分別設(shè)置在支撐架的兩側(cè)；所述支撐架用于固定承載待提升的基板裝載器，所述基板裝載器用于裝載基板；所述鏈輪組件包括第一滾輪、第二滾輪和繞設(shè)在所述第一滾輪和第二滾輪上的鏈條；所述第一滾輪設(shè)置于提升的起始位置的下方，所述第二滾輪設(shè)置于提升的目標(biāo)位置的上方，所述鏈輪組件的鏈條均與所述支撐架連接；

驅(qū)動(dòng)組件，與所述第一滾輪或第二滾輪連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第一滾輪或第二滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，以通過(guò)所述鏈條帶動(dòng)所述支撐架上升或下降。

可選的，所述鏈條均與所述支撐架相對(duì)的兩端可拆卸連接。

可選的，所述支撐架相對(duì)的兩端均設(shè)置有安裝部，所述鏈輪組件的鏈條上設(shè)置有與所述安裝部適配的固定組件。

可選的，所述鏈條上設(shè)置有圓環(huán)，所述支撐架的安裝部設(shè)置有相適配的掛鉤；或者，所述支撐架的安裝部設(shè)置有圓環(huán)或安裝孔，所述鏈條上設(shè)置有相適配的掛鉤。

可選的，還包括用于固定所述第二滾輪的懸掛組件；所述懸掛組件包括連桿和設(shè)于所述連桿兩端的兩個(gè)懸吊件，一對(duì)鏈輪組件中的兩個(gè)第二滾輪分別安裝在兩個(gè)所述懸吊件上。

可選的，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述第一滾輪連接。

可選的，所述驅(qū)動(dòng)組件包括馬達(dá)。

可選的，所述的提升機(jī)構(gòu)包括水平傳送模塊和基板裝載模塊；

所述基板裝載模塊用于在所述提升機(jī)構(gòu)將所述基板裝載器提升到所述目標(biāo)位置后，將基板裝載到所述基板裝載器；

所述水平傳送模塊設(shè)置在提升的所述目標(biāo)位置，用于在所述基板裝載器裝載基板后，將裝載有基板的所述基板裝載器向下一工序傳送。