[實用新型]一種易剝離的研磨墊有效
| 申請號： | 201822240567.2 | 申請日： | 2018-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN209665091U | 公開（公告）日： | 2019-11-22 |
| 發明（設計）人： | 戴文俊 | 申請（專利權）人： | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/26 | 分類號： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吳世華;馬盼<國際申請>=<國際公布>= |
| 地址： | 201210 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨墊 螺旋狀溝槽 環狀溝槽 本實用新型 維護保養 一端連接 易剝離 背膠 邊緣位置 有效運行 中心重合 圓心 拋光機 產能 撕掉 粘貼 | ||
【權利要求書】：
1.一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述研磨墊包括缺口、溝槽Ⅰ、溝槽Ⅱ和背膠，所述背膠位于所述研磨墊的背部，用于將研磨墊粘貼在拋光機上，所述缺口、溝槽Ⅰ和溝槽Ⅱ位于所述研磨墊的正面，
其中，所述溝槽Ⅰ包括M個環狀溝槽，且環狀溝槽的圓心與研磨墊的中心重合；所述溝槽Ⅱ為螺旋狀溝槽，且所述螺旋狀溝槽的一端連接所述缺口，另一端連接直徑最小的環狀溝槽；所述缺口位于所述研磨墊的邊緣位置。
2.根據權利要求1所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述研磨墊為圓形。
3.根據權利要求1所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述研磨墊的厚度為1500微米。
4.根據權利要求1所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述溝槽Ⅰ中M個環狀溝槽的深度相同。
5.根據權利要求4所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述環狀溝槽的頂部寬度和底部寬度相同。
6.根據權利要求4所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述環狀溝槽的深度為500微米-600微米。
7.根據權利要求1所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述溝槽Ⅱ在豎直方向上為頂部寬底部窄的錐形。
8.根據權利要求7所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述溝槽Ⅱ的深度為1000微米-1200微米。
9.根據權利要求7所述的一種易剝離的研磨墊，其特征在于，所述溝槽Ⅱ的頂部寬度為200微米。
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