[實用新型]一種用于無線能量傳輸的整流二極管

有效

• 申請號: 201822239595.2
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209374457U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 李雯;李薇
• 申請（專利權）人: 西安科銳盛創新科技有限公司
• 主分類號: H01L29/872
• 分類號: H01L29/872;H01L21/329;H01L29/167;H01L29/161
• 代理公司: 西安嘉思特知識產權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 劉長春

本實用新型涉及一種用于無線能量傳輸的整流二極管，包括：Si襯底(101)；Ge緩沖層(102)，設置于所述Si襯底(101)的第一表面；外延層(103)，設置于所述Ge緩沖層(102)的上表面，為脊狀臺階結構；SiGe層(104)，設置于所述外延層(103)的臺階表面；第一電極(105)，設置于所述外延層(103)的上表面；第二電極(106)，設置于所述Si襯底(101)的第二表面。本實用新型通過在肖特基二極管的Ge層四周設置SiGe從而在Ge中引入應力，進而形成的肖特基二極管具有較高的遷移率，可大大提升能量轉換效率。

技術領域

本實用新型屬半導體器件制備技術領域，特別涉及一種用于無線能量傳輸的整流二極管。

背景技術

隨著科技的發展，目前，人們生活已經離不開各種電子設備以及汽車等，如手機、PDA、電話手表等大量的便攜式電子設備均需使用充電電池，而越來越普及的電動汽車等也需要充電電池；這些設備一旦電池電量耗盡，就需要及時充電。通常使用的充電器在工作時都是通過傳輸線與負載設備相連接，而各個廠商生產的充電器接口各不相同，因此可能存在電安全問題，而且經常會出現插接時接頭接觸不良，特別是在長期使用后，可能產生接觸不良等現象或故障；其次不同設備的充電接口不同，不能通用，如果用戶需要對多個設備同時充電，就要連接多個充電器，造成了使用的不便。于是一種感應式無線充電裝置應運而生。

無線充電裝置是基于無線能量傳輸系統(Wireless Power Transfer,WPT)，一種能夠突破傳輸線限制輸送電能的裝置。隨著無線充電技術在生活中越來越廣泛的應用，提升無線充電能量傳輸轉換效率變的越來越重要，轉換效率的提高不僅有利節約能源，也可以提高充電速度。

隨著無線充電市場越來越激烈的競爭，提高無線充電的轉換效率無疑可以提高企業的競爭力，而在無線能量傳輸系統整流電路內的整流二極管，即整流天線內的肖特基二極管，決定著最高轉換效率的大??；因此制備一種高轉換效率整流二極管變的尤為重要。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于無線能量傳輸的整流二極管10，包括：

Si襯底101；

Ge緩沖層102，設置于所述Si襯底101的第一表面；

外延層103，設置于所述Ge緩沖層102的上表面，為脊狀臺階結構；

SiGe層104，設置于所述外延層103的臺階表面；

第一電極105，設置于所述外延層103的脊狀頂面；

第二電極106，設置于所述Si襯底101的第二表面。

在本實用新型的一個實施例中，所述Si襯底101為N型單晶Si襯底，摻雜濃度為1×10²⁰cm^-3，厚度為300～400μm。

在本實用新型的一個實施例中，所述Ge緩沖層102材料為N型Ge材料，摻雜濃度為1×10²⁰cm^-3，厚度為40～50nm。

在本實用新型的一個實施例中，所述外延層103材料為N型Ge材料，摻雜濃度為1.8×10¹⁴～2×10¹⁴cm^-3，厚度為900～950nm。

在本實用新型的一個實施例中，所述外延層103材料為N型GeSn材料，摻雜濃度為1.8×10¹⁴～2×10¹⁴cm^-3，厚度為800～1000nm。

在本實用新型的一個實施例中，所述外延層103脊狀頂面至臺階表面的高度與所述SiGe層104厚度一致。