[實(shí)用新型]金絲鍵合恒溫輔助裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822239164.6 | 申請日: | 2018-12-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209357709U | 公開(公告)日: | 2019-09-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 易婷婷;金亮 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市華訊方舟微電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/687 | 分類號(hào): | H01L21/687;H01L21/60 |
| 代理公司: | 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237 | 代理人: | 高星 |
| 地址: | 518102 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 載料平臺(tái) 隔熱構(gòu)件 金絲鍵合 毫米波組件 輔助裝置 加熱組件 加熱 微波 低導(dǎo)熱系數(shù)材料 高導(dǎo)熱系數(shù)材料 本實(shí)用新型 低導(dǎo)熱系數(shù) 操作過程 環(huán)狀結(jié)構(gòu) 環(huán)設(shè) 阻隔 承載 傳遞 | ||
本實(shí)用新型提供了一種金絲鍵合恒溫輔助裝置,用于對(duì)微波、毫米波組件進(jìn)行加熱以輔助金絲鍵合,包括載料平臺(tái)、加熱組件以及隔熱構(gòu)件,載料平臺(tái)用于承載所述微波、毫米波組件,并由高導(dǎo)熱系數(shù)材料制成,加熱組件用于加熱載料平臺(tái),隔熱構(gòu)件由低導(dǎo)熱系數(shù)材料制成,并呈環(huán)狀結(jié)構(gòu)環(huán)設(shè)于載料平臺(tái)周側(cè)。通過增加隔熱構(gòu)件,有效避免了操作者在操作過程中觸碰到載料平臺(tái),并且隔熱構(gòu)件采用低導(dǎo)熱系數(shù)的材料制成,阻隔了溫度的傳遞,提高了作業(yè)的安全性。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于金絲鍵合技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種金絲鍵合恒溫輔助裝置。
背景技術(shù)
在對(duì)微波、毫米波組件進(jìn)行超聲鍵合金絲的過程中,為提高金絲鍵合的效率及可靠性等,會(huì)使微波、毫米波組件維持在作業(yè)溫度,且該作業(yè)溫度通常情況下是高于室溫或環(huán)境溫度的。具體地,為使微波、毫米波組件維持在作業(yè)溫度,通常采用的技術(shù)手段是對(duì)用于承載微波、毫米波組件的載料平臺(tái)進(jìn)行加熱,從而通過載料平臺(tái)加熱微波、毫米波組件,并維持微波、毫米波組件在作業(yè)溫度。但由于載料平臺(tái)是外露的,且在金絲鍵合過程中,操作者難免會(huì)觸碰到載料平臺(tái)的周側(cè),這導(dǎo)致操作者容易被載料平臺(tái)燙傷。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種金絲鍵合恒溫輔助裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在操作者容易被載料平臺(tái)燙傷的技術(shù)問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:提供一種金絲鍵合恒溫輔助裝置,用于對(duì)微波、毫米波組件進(jìn)行加熱以輔助金絲鍵合,包括載料平臺(tái)、加熱組件以及隔熱構(gòu)件,所述載料平臺(tái)用于承載所述微波、毫米波組件,并由高導(dǎo)熱系數(shù)材料制成,所述加熱組件用于加熱所述載料平臺(tái),所述隔熱構(gòu)件由低導(dǎo)熱系數(shù)材料制成,并呈環(huán)狀結(jié)構(gòu),且環(huán)設(shè)于所述載料平臺(tái)周側(cè)。
進(jìn)一步地,所述金絲鍵合恒溫輔助裝置還包括底座組件,所述底座組件包括安裝基座、連接于所述安裝基座上側(cè)面并向上延伸且用于供人手抓持的抓持手桿以及連接于所述抓持手桿上桿端并用于承載所述載料平臺(tái)的料臺(tái)基座。
進(jìn)一步地,所述金絲鍵合恒溫輔助裝置還包括底座組件,所述底座組件包括安裝基座、連接于所述安裝基座上側(cè)面并向上延伸且用于供人手抓持的抓持手桿以及連接于所述抓持手桿上桿端并用于承載所述載料平臺(tái)的料臺(tái)基座。
進(jìn)一步地,所述加熱組件包括能夠在通電狀態(tài)產(chǎn)生熱量并貼合于所述載料平臺(tái)下側(cè)面的電加熱片以及通過電導(dǎo)線與所述電加熱片電連接并用于為所述電加熱片供電的供電器件。
進(jìn)一步地,所述供電器件還用于調(diào)整、控制流經(jīng)所述電加熱片的電流大小。
進(jìn)一步地,所述電加熱片為PTC加熱片。
進(jìn)一步地所述抓持手桿包括與所述安裝基座一體連接并呈管裝設(shè)置的外套管件、與所述料臺(tái)基座連接并呈管狀或桿狀設(shè)置且插接于所述外套管件管內(nèi)的內(nèi)套桿件以及從所述外套管件外管壁穿設(shè)至所述外套管件管內(nèi)的緊固件,所述緊固件與所述外套管件通過螺紋結(jié)構(gòu)連接。
進(jìn)一步地,其中,所述緊固件與所述安裝基座之間留有伸展間距,所述伸展間距為80~110mm。
進(jìn)一步地,所述金絲鍵合恒溫輔助裝置還包括設(shè)于所述載料平臺(tái)和所述料臺(tái)基座之間并由低導(dǎo)熱系數(shù)材料制成的隔熱墊片。
進(jìn)一步地,所述載料平臺(tái)的剖面形狀為倒T型,所述隔熱構(gòu)件的內(nèi)環(huán)腔形狀與所述載料平臺(tái)的形狀相適配。
進(jìn)一步地,所述載料平臺(tái)上側(cè)面的水平位高于所述隔熱構(gòu)件上側(cè)面的水平位,所述載料平臺(tái)上側(cè)面的水平位與所述隔熱構(gòu)件上側(cè)面的水平位之差為 1~3mm。
本實(shí)用新型提供的的有益效果在于:與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型通過在載料平臺(tái)的周側(cè)環(huán)設(shè)隔熱構(gòu)件,有效避免了操作者在進(jìn)行加熱操作過程中容易觸碰載料平臺(tái)而引起的安全問題。
附圖說明
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





