[實(shí)用新型]多層梁式結(jié)構(gòu)的陶瓷微加熱板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822238724.6 | 申請日： | 2018-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN209472775U | 公開（公告）日： | 2019-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉瑞 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州甫一電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H05B3/22 | 分類號： | H05B3/22;H05B3/10;C04B35/10;C04B35/581;C04B35/584;C04B35/622;C04B38/10 |
| 代理公司： | 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王鋒 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加熱板 陶瓷 導(dǎo)熱絕緣層 隔熱陶瓷層 測試電極 梁式結(jié)構(gòu) 加熱層 多層 本實(shí)用新型 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性 槽狀結(jié)構(gòu) 隔熱結(jié)構(gòu) 加熱性能 使用壽命 依次層疊 制備工藝 可控性 懸臂梁 加熱 貫穿 加工 | ||
1.一種多層梁式結(jié)構(gòu)的陶瓷微加熱板，其特征在于包括依次層疊的隔熱陶瓷層、加熱層、導(dǎo)熱絕緣層和測試電極層，并且所述陶瓷微加熱板內(nèi)還形成有依次貫穿所述測試電極層、導(dǎo)熱絕緣層、加熱層及隔熱陶瓷層的槽狀結(jié)構(gòu)，使所述陶瓷微加熱板具有懸臂梁隔熱結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述加熱層為Pt金屬層、Mo金屬層或W金屬層。
3.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述加熱層的厚度為100納米-1000納米。
4.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述測試電極層的材質(zhì)為Au金屬層或Ag金屬層。
5.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述測試電極層的厚度為100納米-1000納米。
6.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述導(dǎo)熱絕緣層的厚度為100納米-5000納米。
7.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述隔熱陶瓷層、加熱層、導(dǎo)熱絕緣層和測試電極層被燒結(jié)為一體。
8.如權(quán)利要求1所述的陶瓷微加熱板，其特征在于：所述陶瓷微加熱板包括工作區(qū)和支撐框架區(qū)，所述工作區(qū)分布在支撐框架區(qū)內(nèi)，所述槽狀結(jié)構(gòu)為環(huán)形槽并環(huán)繞設(shè)置于工作區(qū)周圍，所述工作區(qū)與支撐框架區(qū)之間經(jīng)懸臂梁連接。
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