[實用新型]除塵滾刷及芯片清洗系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822233149.0
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN210160122U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設計）人: 李廣欣
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B1/02;B08B3/08;B08B3/12;H01L21/67
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權代理有限公司 11225
• 代理人: 喻嶸;佛新瑜

1.一種除塵滾刷，包括旋轉滾軸和套設于所述旋轉滾軸上的刷體，其特征在于,還包括:

抽氣通道，設置于所述旋轉滾軸的軸心方向，其與抽氣設備連接；

吸收孔，設置于所述刷體上，且與所述抽氣通道相連通，以供除塵時的粉塵顆粒通過。

2.如權利要求1所述的除塵滾刷，其特征在于，所述刷體外緣面設置有一絨毛層。

3.如權利要求2所述的除塵滾刷，其特征在于，所述絨毛層的材質選自尼龍、聚乙烯、聚丙烯或聚對苯二甲酸丁二醇酯中的一種。

4.如權利要求1所述的除塵滾刷，其特征在于，所述吸收孔的直徑介于10μm至500μm之間。

5.如權利要求4所述的除塵滾刷，其特征在于，所述吸收孔均勻分布于所述刷體的外緣面。

6.一種芯片清洗系統(tǒng)，其特征在于，包括清洗槽、傳送裝置；

所述傳送裝置包括依次水平設置的第一傳輸機構、第二傳輸機構，所述第一傳輸機構用于承載并傳輸芯片；

所述第一傳輸機構上設置有除塵滾刷，所述除塵滾刷用于對承載在所述第一傳輸機構上的芯片進行除塵操作；

所述第二傳輸機構設置于所述清洗槽內，用于承接并沿豎直方向往復輸送經(jīng)所述第一傳輸機構除塵后的所述芯片；

其中，所述除塵滾刷包括權利要求1-5任一所述的除塵滾刷。

7.根據(jù)權利要求6所述的芯片清洗系統(tǒng)，其特征在于，

所述芯片清洗系統(tǒng)還包括超聲發(fā)生裝置，所述超聲發(fā)生裝置設置于所述清洗槽內，用于清洗芯片。

8.如權利要求7所述的芯片清洗系統(tǒng)，其特征在于，

所述第二傳輸機構包括兩兩成對設置的多個第二子傳輸機構組，所述芯片在相鄰所述第二子傳輸機構組之間傳輸，所述第二子傳輸機構組包括兩個成對設置的第二子傳輸機構；

每個所述第二子傳輸機構包括滾軸組和傳輸帶；

其中，所述滾軸組為兩個滾軸成對設置形成；

所述傳輸帶上設置有多個卡座，構成所述第二子傳輸機構組的兩個第二子傳輸機構之間的卡座相對且構成支撐面，用于在豎直方向上傳輸所述芯片。

9.如權利要求8所述的芯片清洗系統(tǒng)，其特征在于，多個所述第二子傳輸機構組沿水平方向依次設置；

所述傳送裝置還包括第三傳輸機構，所述第三傳輸機構設置于第二子傳輸機構內側，所述第三傳輸機構的兩端分別延伸至兩個所述第二子傳輸機構組靠近所述清洗槽底部位置的所述支撐面處，用于承接并在水平向上傳輸所述芯片。

10.如權利要求9所述的芯片清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗系統(tǒng)還包括芯片感應單元，所述芯片感應單元包括傳感器和處理器；

所述傳感器設置于所述第一傳輸機構、第二傳輸機構及第三傳輸機構的上料位置和/或下料位置，用于感應所述芯片的位置。

11.如權利要求7所述的芯片清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗槽的出水端設置有過濾器。