[實(shí)用新型]一種加熱裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822232488.7
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN209258780U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉偉;鄒金成;李偉;王敬苗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): B65D81/18
• 分類號(hào): B65D81/18
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;羅瑞芝

1.一種加熱裝置，用于將放置晶片的載具加熱至設(shè)定溫度，其特征在于，包括腔體結(jié)構(gòu)和加熱部件，所述加熱部件設(shè)置在所述腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述載具也用于設(shè)置在所述腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述加熱部件用于圍設(shè)在所述載具外圍，以對(duì)所述載具進(jìn)行加熱；

所述腔體結(jié)構(gòu)包括腔體和頂蓋，所述腔體一端開口，所述頂蓋用于蓋合在所述腔體的開口上，以封閉所述腔體的開口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述腔體包括由外層壁和內(nèi)層壁圍設(shè)形成的中空封閉的第一殼體，所述腔體還包括填充于所述第一殼體內(nèi)的保溫材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱裝置，其特征在于，所述腔體包括底壁和四周側(cè)壁，所述腔體的一側(cè)側(cè)壁上開設(shè)有進(jìn)氣管道，所述腔體的與所述進(jìn)氣管道所在側(cè)壁相鄰的相對(duì)兩側(cè)壁上開設(shè)有出氣管道，所述進(jìn)氣管道用于向所述腔體內(nèi)輸入空氣，所述出氣管道用于從所述腔體內(nèi)向外輸出空氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱裝置，其特征在于，所述腔體結(jié)構(gòu)還包括設(shè)置在所述腔體內(nèi)底壁上的承載部，所述承載部包括支撐柱和托盤，所述支撐柱的一端與所述腔體的底壁固定連接，所述托盤固定在所述支撐柱的另一端上，所述托盤上用于放置所述載具。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱裝置，其特征在于，所述加熱部件包括設(shè)置于所述腔體內(nèi)的第一加熱線圈，所述第一加熱線圈用于圍設(shè)于所述載具的四周外圍，所述第一加熱線圈固定在所述托盤上，且所述第一加熱線圈與所述腔體之間相互間隔設(shè)定距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加熱裝置，其特征在于，所述腔體結(jié)構(gòu)還包括第一保護(hù)屏障，所述第一保護(hù)屏障設(shè)置在所述腔體內(nèi)，且用于圍設(shè)在所述載具的四周外圍，所述第一保護(hù)屏障固定在所述托盤上，且所述第一保護(hù)屏障用于設(shè)置在所述第一加熱線圈和所述載具之間，以將所述第一加熱線圈與所述載具隔開。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱裝置，其特征在于，所述第一保護(hù)屏障上開設(shè)有均勻分布的散熱孔，所述散熱孔能使所述第一加熱線圈的熱量通過，以對(duì)所述載具進(jìn)行加熱。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加熱裝置，其特征在于，所述腔體結(jié)構(gòu)還包括擋板，所述擋板設(shè)置在所述腔體內(nèi)，且位于所述出氣管道所在側(cè)壁上，所述擋板延伸至與所述第一保護(hù)屏障相接觸，所述擋板的設(shè)置位置介于所述出氣管道與所述進(jìn)氣管道之間，用于阻擋從所述進(jìn)氣管道輸入的空氣直接從與所述進(jìn)氣管道鄰近的所述出氣管道輸出。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述頂蓋包括門體和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述門體與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能驅(qū)動(dòng)所述門體開啟和關(guān)閉，所述門體能在關(guān)閉時(shí)蓋合在所述腔體的開口上，以封閉所述腔體的開口。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱裝置，其特征在于，還包括溫度監(jiān)測(cè)部件，所述溫度監(jiān)測(cè)部件設(shè)置在所述第一保護(hù)屏障的背離所述第一加熱線圈的一側(cè)以及所述頂蓋的面向所述腔體內(nèi)的一側(cè)，所述溫度監(jiān)測(cè)部件能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所述載具的溫度。