[實用新型]一種用于直寫式光刻機的曝光鏡頭的標定裝置

有效

• 申請號: 201822228968.6
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209433438U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發明（設計）人: 劉蘇凱;張雷;李偉成
• 申請（專利權）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G06T7/80
• 分類號: G06T7/80
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 陳松

本實用新型提供了一種用于直寫式光刻機的曝光鏡頭的標定裝置，可以快速標定每個曝光鏡頭的參數，方便鏡頭參數的定期標定，包括底座和三軸運動平臺，三軸運動平臺上安裝有基板臺面，基板臺面的上方還設置有對準系統和曝光系統，曝光系統包括若干沿x軸方向設置的間隔排布的曝光鏡頭，在基板臺面平行于x軸的一側設置有直線模組，直線模組平行于x軸設置，直線模組連接有驅動電機，直線模組上設置有滑塊，滑塊上安裝有標定相機，標定相機的鏡頭朝上面向曝光鏡頭設置，用于對曝光鏡頭進行標定，y軸運動組件、直線模組配合能夠使得標定相機在平行于底座的平面內移動，z軸運動組件能夠使得標定相機移動到標定所需的位置。

技術領域

本實用新型涉及光刻技術領域，具體涉及一種用于直寫式光刻機的曝光鏡頭的標定裝置。

背景技術

光刻技術是用于在襯底表面上印刷具有特征的構圖。這樣的襯底可包括用于制造半導體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等的基片。直寫光刻技術以替代傳統的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接轉移技術，在半導體及PCB生產領域有著非常重要的作用。

鏡頭精度是影響曝光品質的一項重要指標，所以保證鏡頭精度的可靠性至關重要，光刻機需要定期對曝光鏡頭進行參數標定后，確保鏡頭的精度，現有技術中缺乏能夠對曝光鏡頭進行快速標定的裝置。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供了一種用于直寫式光刻機的曝光鏡頭的標定裝置，可以快速標定每個曝光鏡頭的參數，方便鏡頭參數的定期標定，保證基板曝光精度的穩定性，有效提高曝光品質。

其技術方案是這樣的：一種用于直寫式光刻機的曝光鏡頭的標定裝置，包括底座和設置在所述底座上的三軸運動平臺，所述三軸運動平臺包括y軸運動組件、x軸運動組件、z軸運動組件，所述三軸運動平臺上安裝有基板臺面，PCB板設置在所述基板臺面上，所述基板臺面的上方還設置有對準系統和曝光系統，所述曝光系統包括若干沿x軸方向設置的間隔排布的曝光鏡頭，其特征在于：在所述基板臺面平行于x軸的一側設置有直線模組，所述直線模組平行于x軸設置，所述直線模組連接有驅動電機，所述直線模組上設置能夠沿所述直線模組移動的滑塊，所述滑塊上安裝有標定相機，所述標定相機的鏡頭朝上面向所述曝光鏡頭設置，用于對所述曝光鏡頭進行標定，所述y軸運動組件、所述直線模組配合能夠使得所述標定相機在平行于所述底座的平面內移動，所述z軸運動組件能夠使得所述標定相機移動到標定所需的位置。

進一步的，所述y軸運動組件設置在底座上，所述x軸運動組件設置在y軸運動組件上，所述z軸運動組件固定在x軸運動組件上，所述基板臺面設置在所述z軸運動組件上，所述X軸運動組件和y軸運動組件配合能夠使得所述基板臺面在平行于所述底座的平面內移動，所述z軸運動組件能夠使得所述基板臺面的基板運動到曝光和對位的焦面。

進一步的，所述底座為大理石底座。

進一步的，所述對準系統包括CCD相機、基準鏡頭和照明光源。

進一步的，所述對準系統和曝光系統設置在安裝在所述底座的龍門上。

進一步的，所述直線模組包括滾珠絲桿和平行于所述滾珠絲桿設置導軌，所述滑塊與所述導軌滑動配合且設有與所述滾珠絲桿配合絲桿螺母。

進一步的，所述x軸的方向平行于所述底座的寬度方向設置，所述y軸方向平行于所述底座的長度方向設置，所述z軸方向垂直于所述底座所在平面設置。

進一步的，所述標定相機設置在所述滑塊上的滑塊安裝孔內。