[實(shí)用新型]一種氧化物靶材的注漿成型模具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822227538.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209718057U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸映東;張倍維;梁盈祥;農(nóng)浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28B1/26
• 分類(lèi)號(hào): B28B1/26
• 代理公司: 45113 柳州市榮久專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 韋微<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入國(guó)

本實(shí)用新型涉及一種氧化物靶材的注漿成型模具，該模具包括防銹磁力吸盤(pán)和多個(gè)防銹模具鋼板，使用時(shí)，防銹模具鋼板拼接成具有四方形封閉空腔的結(jié)構(gòu)，并通過(guò)磁力吸附在防銹磁力吸盤(pán)上形成注漿腔體。使用本模具的成型方法是向腔體中注入待成型的氧化物漿料，準(zhǔn)備一塊同尺寸的塑料膜或布粘有吸水樹(shù)脂，覆蓋在腔體中的漿料表面，漿料中的水份會(huì)被超強(qiáng)吸水樹(shù)脂吸走，中途可對(duì)粘有吸水樹(shù)脂的塑料膜進(jìn)行更換，待漿料脫水成型后，對(duì)磁力吸盤(pán)進(jìn)行退磁，并拆除模具板，即得成型好的坯體。本實(shí)用新型采用向上脫水的方式，且脫水媒介可以在成型過(guò)程中更換，避免了脫水媒介被堵孔，后期無(wú)法脫水的現(xiàn)象；并且模具方便調(diào)節(jié)尺寸，可應(yīng)對(duì)靶材產(chǎn)品尺寸多變的現(xiàn)狀。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種氧化物靶材的注漿成型模具。

背景技術(shù)

氧化物靶材主要用于磁控濺射鍍膜，如ITO靶材、IGZO靶材、AZO靶材等。現(xiàn)有的注漿成型技術(shù)有采用石膏吸水的注漿成型、有采用多孔樹(shù)脂過(guò)濾的壓濾成型等。石膏吸水的注漿成型，一方面應(yīng)對(duì)多尺寸規(guī)格的靶材產(chǎn)品，模具制作較麻煩，另一方面吸水速率會(huì)越來(lái)越慢，成型時(shí)間長(zhǎng)，且易于引入雜質(zhì)；用于氧化物靶材成型的粉體多為納米級(jí)粉體，而現(xiàn)有的用于壓濾成型的多孔樹(shù)脂孔徑均為微米級(jí)，存在易堵孔的問(wèn)題。

中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)CN200910143355.5公開(kāi)了一種注漿成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材，該專利所述注漿成型用的模具包括底部、側(cè)壁以及由該底部和側(cè)壁所圍成的一容納空間，其中僅有該底部的材料為吸水性多孔質(zhì)的材料，而該側(cè)壁無(wú)法吸水。該專利底部與側(cè)壁形成的容納空間尺寸是固定的，不能根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié)，適用范圍小。另外，該專利是通過(guò)底部向下吸水，底部是固定的，吸水材料中途不能更換，故存在吸水速率會(huì)越來(lái)越慢的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種氧化物靶材的注漿成型模具，該模具結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，尺寸可調(diào)節(jié)，采用該模具在成型過(guò)程中可更換脫水媒介，避免了脫水速度降低或無(wú)法脫水的情況，解決了上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。

解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案是：一種氧化物靶材的注漿成型模具，包括防銹磁力吸盤(pán)和多個(gè)防銹模具鋼板，使用時(shí)，防銹模具鋼板拼接成具有四方形封閉空腔的結(jié)構(gòu)，并通過(guò)磁力吸附在防銹磁力吸盤(pán)上形成注漿腔體。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)方案是：多個(gè)防銹模具鋼板的高度相同，有部分防銹模具鋼板的長(zhǎng)度相同，有部分防銹模具鋼板的長(zhǎng)度不同，防銹模具鋼板的高度為80～160mm，長(zhǎng)度為100～2000mm。

由于采用上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

1、本實(shí)用新型模具的防銹磁力吸盤(pán)和防銹模具鋼板之間是通過(guò)磁力吸附固定，防銹模具鋼板的尺寸有長(zhǎng)有短，可根據(jù)需要選擇合適大小的防銹模具鋼板拼接成需要的腔體大小。即本實(shí)用新型模具能夠方便調(diào)節(jié)尺寸，適用范圍廣，可應(yīng)對(duì)靶材產(chǎn)品尺寸多變的現(xiàn)狀。

2、采用本實(shí)用新型模具成型過(guò)程是采用向上脫水的方式，且脫水媒介超強(qiáng)吸水樹(shù)脂可以在成型過(guò)程中更換，避免了脫水媒介被堵孔，后期脫水速度降低或無(wú)法脫水的現(xiàn)象，能夠提高脫水效率。

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型之一種氧化物靶材的注漿成型模具的技術(shù)特征作進(jìn)一步的說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

圖1：本實(shí)用新型之氧化物靶材的注漿成型模具結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-防銹模具鋼板，2-防銹磁力吸盤(pán)。

P1表示拼接方式一，P2表示拼接方式二。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1：一種氧化物靶材的注漿成型模具，如圖1所示，包括防銹磁力吸盤(pán)2和多個(gè)防銹模具鋼板1，使用時(shí)，防銹模具鋼板1拼接成具有四方形封閉空腔的結(jié)構(gòu)，并通過(guò)磁力吸附在防銹磁力吸盤(pán)上形成注漿腔體。