[實用新型]一種離線式分雙片機

有效

• 申請號: 201822216496.2
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN209471941U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 梁明剛
• 申請（專利權）人: 廣東啟天自動化智能裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 泰州淘權知識產權代理事務所(普通合伙) 32365
• 代理人: 趙東陽

1.一種離線式分雙片機，其特征在于：包括控制電箱(1)、滿籃入籃裝置(2)、分雙片裝置(3)、硅片入籃裝置(4)，所述分雙片裝置(3)安裝于滿籃入籃裝置(2)與硅片入籃裝置(4)之間，所述滿籃入籃裝置(2)包括入料籃具切換機構(21)、滿籃升降機構(22)，所述分雙片裝置(3)包括單片固定吸盤組機構(31)、六軸分片機械手機構(32)、伸縮線機構(33)，所述硅片入籃裝置(4)包括硅片存儲機構(41)、硅片輸送機構(42)、硅片緩存機構(43)、換籃機構(44)。

2.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述入料籃具切換機構(21)包括滿籃入籃皮帶線(211)、空籃出籃皮帶線(212)，所述滿籃入籃皮帶線(211)安裝在空籃出籃皮帶線(212)下方，裝滿雙片的滿籃放入下層滿籃入籃皮帶線(211)，送入滿籃升降機構(22)取完片后空籃從上層送出。

3.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述滿籃升降機構(22)包括升降組件(221)、滿籃定位組件(222)、花籃進出皮帶線(223)，所述升降組件(221)安裝在花籃進出皮帶線(223)兩側，滿籃定位組件(222)安裝在升降組件(221)上方，裝滿雙片的花籃從滿籃入籃皮帶線(211)送至花籃進出皮帶線(223)后，升降組件(221)將其升至分片位，滿籃定位組件(222)將花籃定位。

4.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述單片固定吸盤組機構(31)包括單片固定吸盤組(311)、吸盤組位移組件(312)、單片固定吸盤風干組件(313)，所述單片固定吸盤組(311)與吸盤組位移組件(312)相連接，安裝于滿籃升降機構(22)之后，單片固定吸盤風干組件(313)安裝于單片固定吸盤組(311)上方，單片固定吸盤組(311)進行后固定由滿籃升降機構(22)提升至分片位的單側硅片，六軸分片機械手機構(32)取出另一側硅片。

5.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述硅片存儲機構(41)包括硅片存儲料盒(411)、存儲料盒升降模組(412)，所述硅片存儲料盒(411)安裝于存儲料盒升降模組(412)上，裝滿硅片的硅片存儲料盒(411)隨存儲料盒升降模組(412)下降至首片位。

6.根據權利要求5所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述六軸分片機械手機構(32)包括六軸機器人(321)、主動吸盤組件(322)，所述主動吸盤組件(322)安裝于六軸機器人(321)T軸上，分片機械手將另一側未固定的硅片取出放置于硅片存儲料盒(411)中。

7.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述硅片輸送機構(42)包括皮帶輸送組件(421)、硅片檢測組件(422)，所述硅片檢測組件(422)安裝在皮帶輸送組件(421)中間，裝滿硅片的料盒下降至首片位后，皮帶輸送組件(421)將硅片輸送至硅片緩存機構(43)。

8.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述硅片緩存機構(43)包括硅片緩存料盒(431)、緩存料盒升降模組(432)，所述硅片緩存料盒(431)安裝于緩存料盒升降模組(432)上，待硅片緩存料盒(431)中的硅片運輸完之后，硅片緩存料盒(431)中的硅片下降至輸送硅片的位置。

9.根據權利要求5所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述伸縮線機構(33)包括伸縮線組件(331)、硅片導正組件(332)，從硅片存儲料盒(411)輸送過來的硅片經硅片導正組件(332)導正后通過伸縮線組件(331)輸送至空籃。

10.根據權利要求1所述的一種離線式分雙片機，其特征在于：所述換籃機構(44)包括換籃升降模組(441)、花籃限位組件(442)、空籃入籃皮帶線組件(443)、滿籃出籃皮帶線組件(444)，花籃限位組件(442)將空花籃固定，換籃升降模組(441)將其升至裝片位，裝滿后從上層送出。