[實用新型]一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置

有效

• 申請號: 201822215564.3
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN209327248U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 江鵬;王鐵軍;李定駿;楊镠育
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251;G01N3/18;G01N3/02;G01N3/06
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，包括微型機械加載系統(1)和高溫環境模塊(2)；其中，

微型機械加載系統(1)包括微型電機及傳動裝置基座(1-1)，高溫模塊及傳動模塊基座(1-10)，微型力傳感器和短距高精度激光位移傳感器，以及設置在微型電機及傳動裝置基座(1-1)上的微型電機(1-2)和傳動裝置，高溫模塊及傳動模塊基座(1-10)與微型電機及傳動裝置基座(1-1)在同一平面上安裝在一起；

高溫環境模塊(2)包括設置在高溫模塊及傳動模塊基座(1-10)上的高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)，高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)內用于設置被測試樣，且高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)內還設置有用于對被測試樣進行超高溫加熱的加熱裝置；使用狀態時，微型機械加載系統(1)中的傳動裝置與被測試樣相連，并通過微型電機(1-2)帶動傳動裝置用于對高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)中的被測試樣進行拉伸。

2.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，傳動裝置包括與微型電機(1-2)的輸出軸相連的第一齒輪(1-3)，設置在微型電機及傳動裝置基座(1-1)上且與微型電機(1-2)的輸出軸平行設置的傳動絲杠(1-5)，傳動絲杠(1-5)的一個端頭設置有與第一齒輪(1-3)外嚙合的第二齒輪(1-12)；

高溫模塊及傳動模塊基座(1-10)的一端通過固定壓頭夾持端(1-7)與微型電機及傳動裝置基座(1-1)安裝在一起，另一端開設有移動壓頭運動導向槽(1-11)，移動壓頭運動導向槽(1-11)內設置有能夠沿其移動的移動壓頭夾持端(1-8)，高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)位于固定壓頭夾持端(1-7)與移動壓頭夾持端(1-8)之間；

傳動裝置還包括拉伸絲杠，拉伸絲杠在垂直于傳動絲杠(1-5)的方向設置，且拉伸絲杠的一端設置有傳動齒輪，傳動齒輪與傳動絲杠(1-5)外嚙合，拉伸絲杠的一端穿過固定壓頭夾持端(1-7)與移動壓頭夾持端(1-8)之間螺紋連接。

3.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，傳動裝置中包括兩個傳動齒輪和兩個拉伸絲杠，兩個拉伸絲杠為平行設置的第一傳動絲杠(1-6)和第二拉伸絲杠(1-15)，第一傳動絲杠(1-6)的一端和第二拉伸絲杠(1-15)的一端分別通過第一傳動齒輪(1-13)和第二傳動齒輪(1-14)與傳動絲杠(1-5)外嚙合，兩個拉伸絲杠的另一端均固定壓頭夾持端(1-7)與移動壓頭夾持端(1-8)之間螺紋連接。

4.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，傳動裝置中還包括兩個高溫陶瓷加載軸(1-9)，兩個高溫陶瓷加載軸(1-9)穿過高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)分別與固定壓頭夾持端(1-7)和移動壓頭夾持端(1-8)固定連接，兩個高溫陶瓷加載軸(1-9)之間用于固定被測試樣。

5.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，傳動裝置中還包括設置在微型電機及傳動裝置基座(1-1)上，用于支撐微型電機(1-2)的輸出軸以及傳動絲杠(1-5)兩端的固定軸承(1-4)。

6.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，高溫環境模塊(2)中的加熱裝置為多個平行設置的鹵素加熱燈管(2-2)，多個鹵素加熱燈管(2-2)的軸向上包裹有橢球形凹面反射鏡(2-3)。

7.根據權利要求6所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，多個鹵素加熱燈管(2-2)均通過金屬支架(2-9)固定在高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)內。

8.根據權利要求6所述的一種掃描電鏡下的超高溫斷裂原位觀測裝置，其特征在于，高溫加載模塊隔熱外殼(2-1)的外側還布置有循環水冷導管(2-6)，且循環水冷導管(2-6)與外置循環冷水機(2-7)組成水循環。