[實用新型]氟氣、氟化氫及氮氣混合標準樣品配制系統有效
| 申請號： | 201822214067.1 | 申請日： | 2018-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN209400294U | 公開（公告）日： | 2019-09-17 |
| 發明（設計）人： | 孫正賢;王彥輝;蒙秀君;武軍;武國章;虎生君;陸燕;何瑋玥 | 申請（專利權）人： | 中核四0四有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28;G01N1/38;G01N21/3504 |
| 代理公司： | 核工業專利中心 11007 | 代理人： | 任超 |
| 地址： | 732850 *** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氟化氫 氟氣 流量計 閥門 混合標準 氮氣 氮氣流量計 氮氣閥門 樣品配制 管路連接 氣出口 | ||
【權利要求書】：
1.一種氟氣、氟化氫及氮氣混合標準樣品配制系統，其特征在于：包括氮氣閥門(5)、氟氣閥門(6)、氟化氫閥門(7)，氮氣閥門(5)、氟氣閥門(6)、氟化氫閥門(7)分別通過管路連接氮氣流量計(1)、氟氣流量計(2)、氟化氫流量計(3)，氮氣流量計(1)、氟氣流量計(2)、氟化氫流量計(3)均連接混合標準氣出口閥門(4)。
2.根據權利要求1所述的一種氟氣、氟化氫及氮氣混合標準樣品配制系統，其特征在于：所述混合標準氣出口閥門(4)連接壓力表(8)。
3.根據權利要求2所述的一種氟氣、氟化氫及氮氣混合標準樣品配制系統，其特征在于：混合標準氣出口閥門(4)、氮氣閥門(5)、氟氣閥門(6)、氟化氫閥門(7)選用不銹鋼材質。
4.根據權利要求3所述的一種氟氣、氟化氫及氮氣混合標準樣品配制系統，其特征在于：全部連接管路選用不銹鋼材質。
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