[實用新型]傅里葉變換光譜儀用干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822212554.4
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN209069422U
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李紀(jì)華;鄭留念;吳瓊水
• 申請（專利權(quán)）人: 熒颯光學(xué)科技（上海）有限公司
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01J3/02
• 代理公司: 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

一種傅里葉變換光譜儀用干涉儀，包括反射鏡、分束器、角鏡、角鏡連接臂、轉(zhuǎn)軸、電機、激光器、探測器、控制裝置等。本實用新型通過對稱布局光束轉(zhuǎn)折的反射鏡和角鏡，有利于光路的準(zhǔn)確和安裝方便；通過角鏡實現(xiàn)光束的返回，準(zhǔn)直性能更好；兩個角鏡共用一個軸承，結(jié)構(gòu)緊湊、穩(wěn)定性更高；通過激光準(zhǔn)直控制電機的運動，準(zhǔn)確性更高。本實用新型具有光路布局簡單、結(jié)構(gòu)緊湊、控制精確、穩(wěn)定性更高的特點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及紅外光譜，特別是一種傅里葉變換光譜儀用干涉儀。

背景技術(shù)

傅里葉變換紅外光譜儀器的基本工作原理是：經(jīng)過準(zhǔn)直的待測紅外光束入射到邁克爾遜干涉儀中，控制干涉儀中動鏡的運動，獲得不同光程差下的干涉圖，將獲得的干涉圖進行傅里葉變換，就得到光束的紅外光譜圖。所述的干涉儀是傅里葉變換紅外光譜儀的核心部件。干涉儀動鏡的移動改變了形成干涉圖的兩束光的光程差，而光程差的大小也直接決定著光譜儀的分辨率。經(jīng)典的邁克爾遜干涉儀動鏡的移動范圍有限，導(dǎo)致光程差較短；控制采用響應(yīng)較快音圈電機或者直線電機，而控制動鏡的勻速穩(wěn)定運動很困難；雖然很多實施方案中將干涉儀的平面鏡換成了角錐，但整個光路的準(zhǔn)直還是具有較大困難。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供一種傅里葉變換光譜儀用干涉儀，目的在于優(yōu)化光路的布局，提供干涉的兩束光更大的行程差，該干涉儀具有光路布局簡單、結(jié)構(gòu)緊湊、控制精確、穩(wěn)定性更高的特點。

本實用新型采用的技術(shù)解決方案是：

一種傅里葉變換光譜儀用干涉儀，包括第一反射鏡、分束器、第二反射鏡、激光器、探測器、第一角鏡、第二角鏡、轉(zhuǎn)軸、角鏡連接臂、電機和控制裝置，其特點在于：

所述的第一反射鏡、第二反射鏡對稱地布置在所述的分束器的兩側(cè)，所述的第一角鏡、第二角鏡通過角錐連接臂相連形成剛性整體，所述的角錐連接臂的中間固定在所述的轉(zhuǎn)軸上，所述的第一角鏡、第二角鏡也對稱地布置在所述的分束器的兩側(cè)，在所述的電機驅(qū)動下，所述的第一角鏡、第二角鏡和角錐連接臂繞所述的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述的角鏡內(nèi)的三個反射面相互垂直；

進入干涉儀的平行主光束經(jīng)所述的分束器分為反射光和透射光，所述的透射光依次經(jīng)所述的第二反射鏡、第一角鏡、第二反射鏡返回所述的分束器，經(jīng)該分束器反射后構(gòu)成部分出射主光束，所述的反射光依次經(jīng)所述的第一反射鏡、第二角鏡、第一反射鏡返回所述的分束器，經(jīng)該分束器透射后構(gòu)成部分出射主光束；

所述的激光器位于所述的出射主光束的一側(cè)，該激光器發(fā)射的探測激光束和所述的出射主光束平行且入射到所述的分束器，該分束器將所述的探測激光束分為反射光和透射光，該反射光依次經(jīng)所述的第二反射鏡、第一角鏡、第二反射鏡返回所述的分束器，經(jīng)該分束器反射后構(gòu)成干涉光束的一部分子光束，該透射光依次經(jīng)所述的第一反射鏡、第二角鏡、第一反射鏡返回所述的分束器，經(jīng)該分束器透射后構(gòu)成干涉光束的另一部分子光束；

所述的干涉光束的兩個子光束干涉形成干涉條紋，被所述的探測器采集，所述的探測器的輸出端與所述的控制裝置的輸入端相連，所述的控制裝置的輸出端與所述的電機的控制端相連。

所述的電機為音圈電機。

所述的轉(zhuǎn)軸為片簧轉(zhuǎn)軸。

所述的探測器采集的激光干涉條紋，在控制裝置中計算處理，根據(jù)處理的數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確控制電機的運動狀況。

本實用新型的有益效果如下：

本實用新型兩個反射鏡和反射鏡在分束器兩側(cè)對稱布置，結(jié)構(gòu)簡潔穩(wěn)定。

本實用新型光束逆向返回的器件使用角錐，兩個角錐在分束器兩側(cè)對稱布置，且與角錐連接臂形成剛性整體，一起繞轉(zhuǎn)軸運動，結(jié)構(gòu)緊湊，有利于增加兩束光的光程差，提高儀器的分辨率。