[實用新型]一種蒸發源系統維護裝置有效
| 申請號： | 201822211455.4 | 申請日： | 2018-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN209508390U | 公開（公告）日： | 2019-10-18 |
| 發明（設計）人： | 龐浩 | 申請（專利權）人： | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 100176 北京市大興區經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蒸發源 石墨坩堝 系統維護裝置 支架 抓取 卡鉗組件 抓取裝置 支撐件 本實用新型 的卡鉗組件 滑動方向 滑動裝配 軸線平行 取出 支撐 配合 | ||
1.一種蒸發源系統維護裝置，所述蒸發源系統內設置有石墨坩堝，其特征在于，所述蒸發源系統維護裝置包括：
支撐件，用于支撐蒸發源系統；和
抓取裝置，包括支架以及用于抓取所述石墨坩堝的卡鉗組件，所述卡鉗組件滑動裝配在所述支架上，且所述卡鉗組件在所述支架上的滑動方向與所述蒸發源系統內的石墨坩堝的軸線平行。
2.如權利要求1所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述卡鉗組件包括與所述支架滑動連接的連接座；與所述連接座連接并用于抓取所述石墨坩堝的張緊機構；以及用于驅動所述張緊機構張緊的驅動機構。
3.如權利要求2所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述張緊機構包括：
與所述連接座固定連接的套筒；
與所述套筒轉動連接的多個卡爪；以及
滑動裝配在所述套筒內的連桿，所述連桿上設置有推動所述卡爪轉動的驅動件；在所述連桿滑動到第一設定位置時，所述驅動件推動所述卡爪抵壓在所述石墨坩堝的內壁。
4.如權利要求2所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述張緊機構包括：
與所述連接座固定連接的套筒；
與所述套筒滑動連接的多個卡爪；以及
滑動裝配在所述套筒內的連桿，所述連桿上設置有推動所述卡爪轉動的驅動件；在所述連桿滑動到第一設定位置時，所述驅動件推動所述卡爪抵壓在所述石墨坩堝的內壁。
5.如權利要求3或4所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述驅動機構為水平卡鉗，且所述水平卡鉗與所述連桿連接。
6.如權利要求5所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，還包括用于托舉所述石墨坩堝的托舉組件。
7.如權利要求6所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述托舉組件包括與所述支架固定連接的第一托板；
還包括第二托板，所述第二托板與所述支架滑動連接并可鎖定在第二設定位置；在所述第二托板鎖定在所述第二設定位置時，所述第二托板與所述石墨坩堝的底端抵壓接觸。
8.如權利要求7所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述第二托板通過水平卡鉗鎖定在所述第二設定位置。
9.如權利要求7所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述托舉組件還包括與所述連接座滑動連接并可鎖定在第三設定位置的第三托板。
10.如權利要求9所述的蒸發源系統維護裝置，其特征在于，所述連接座上設置有固定塊，所述固定塊上滑動連接有導桿，所述導桿與所述第三托板固定連接，且所述導桿上穿設有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩端分別抵壓在所述固定塊與所述第三托板上；所述導桿遠離所述第三托板的一端外露在所述固定塊外側且連接有限位塊。
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