[實(shí)用新型]一種12英寸單晶棒取棒運(yùn)輸裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822205934.5
• 申請(qǐng)日: 2018-12-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209321000U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蓋晶虎;王雅楠;秦瑞鋒;楊高潮;戴小林;吳志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 有研半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B62B3/02
• 分類(lèi)號(hào): B62B3/02;B62B3/04;B62B5/00;B62B5/06;B62B5/04
• 代理公司: 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 劉秀青

1.一種12英寸單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，包括取棒架、旋轉(zhuǎn)裝置、運(yùn)輸平臺(tái)及控制系統(tǒng)，其中，取棒架和旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)置在運(yùn)輸平臺(tái)上，取棒架具有用于承載單晶棒等徑部分的截面為半圓形的半圓管，在該半圓管下端的設(shè)有圓錐形的棒尾固定部，半圓管與棒尾固定部之間通過(guò)可拆卸的卡扣無(wú)縫連接；在該半圓管的開(kāi)口部分設(shè)有多個(gè)用于固定單晶棒的鎖扣；

旋轉(zhuǎn)裝置與半圓管外壁連接，控制系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)裝置，使半圓管在豎直位置和水平位置之間旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括上、下兩根可轉(zhuǎn)動(dòng)的鋼軸，上面的鋼軸上固定安裝有一個(gè)大齒輪，下面的鋼軸上固定安裝有一個(gè)小齒輪，兩個(gè)齒輪按1：4齒比緊密咬合，小齒輪與變速箱用鏈條連接，變速箱用鏈條連接電機(jī)，電機(jī)的轉(zhuǎn)速和方向由控制系統(tǒng)控制；兩根鋼軸上固定安裝有兩個(gè)平行的鋼板，兩個(gè)鋼板分別連接在半圓管外壁的對(duì)稱(chēng)位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述運(yùn)輸平臺(tái)的一端設(shè)有手推扶手，運(yùn)輸平臺(tái)下方設(shè)有萬(wàn)向輪和定向輪。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述運(yùn)輸平臺(tái)通過(guò)電機(jī)提供動(dòng)力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述取棒架的半圓管內(nèi)壁具有絕熱耐高溫光滑的四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物涂層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，在所述取棒架下方設(shè)有控制單晶棒豎直位置的傳感器，該傳感器與控制系統(tǒng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，在所述運(yùn)輸平臺(tái)上設(shè)有與控制系統(tǒng)連接的控制單晶棒水平位置的限位傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒取棒運(yùn)輸裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)設(shè)置在遠(yuǎn)離運(yùn)輸平臺(tái)的位置。