[實用新型]一種金屬掩膜板

有效

• 申請號: 201822200642.2
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209702837U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 張沈鈞
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 35219 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 林祥翔;張忠波<國際申請>=<國際公布>

本實用新型涉及蒸鍍金屬工藝，應用于OLED制作過程，提供了一種金屬掩膜板，具有可替代框架，所述金屬掩膜板包括框架組合機構1，所述框架組合機構1包括：外框架101，內框架102，支撐架103。所述外框架101內緣處設有凹槽2，凹槽2上設置有外框架螺絲穿孔301，所述外框架螺絲穿孔301和設置在內框架102上的內框架螺絲穿孔302的位置相對應，通過螺絲固定所述內外兩框架。內框架102上設置的凹槽4與支撐架103的尺寸大小一致且位置相互對應，支撐架103搭建在所述凹槽4上完成兩者的組合連接。

技術領域

本技術方案涉及OLED生產設備領域，特別是涉及一種金屬掩膜板，特別是涉及高精密的材料。

背景技術

目前OLED生產制造過程會使用到一種高精密的金屬掩膜板(FMM Mask)，

金屬掩膜板設有開口圖案，用于在OLED面板蒸鍍時設置于OLED面板前方，蒸鍍時坩堝中的蒸鍍材料受熱蒸發，并穿過金屬掩膜板沉積在OLED面板上形成圖形化的有機發光層。

所述金屬掩膜板的材質為Invar36(鎳鐵合金)，這種材料膨脹系數低且帶有磁性因而在蒸鍍過程中經常被使用來制造掩膜框架。

在實現本方案的過程中，發明人發現了現有技術中存在以下問題：這種材料的特殊性決定了其費用要高于一般不銹鋼2倍以上，而在生產不同產品型號的時候，FMM Mask上的圖形(Pattern)不同則支撐掩膜條(Support Sheet)需配合調整位置從而導致Frame制作時需要配合圖形尺寸來制作，由于OLED生產制造對精度要求高，意味圖形尺寸稍有變化就需要制作一整個新的金屬掩膜板，生產周期更長且成本消耗更高。

實用新型內容

為此，需要提供一種能靈活適應不同圖形尺寸需求的掩膜板，能夠減少成本支出、提高生產效率。

為實現上述目的，發明人設計了一種金屬掩膜板，用于給OLED蒸鍍金屬使用，包括框架組合機構1，所述框架組合機構1包括：

外框架101，用于支撐框架整體，所述外框架101的內緣設有凹槽2，所述凹槽2的表面設有用于連接內框架102的可拆分連接裝置。內框架102，所述內框架102連接在所述外框架101的凹槽2上，且所述內框架102的尺寸大小不大于所述凹槽2的區域大小。支撐架103，所述支撐架103搭建在所述內框架102上，且所述支撐架103的尺寸、大小是依照待加工工件的大小、尺寸、圖案做的相適應的設計。

所述內框架102通過可拆分連接裝置固定在所述凹槽上，所述可拆分連接裝置包括：

螺絲穿孔，在所述凹槽2的表面上挖設有所述外框架螺絲穿孔301，且在所述內框架102的對應位置上設置有內框架螺絲穿孔302，螺絲釘通過設置于所述外框架螺絲穿孔301以及所述內框架螺絲穿孔302，將所述的兩個框架固定連接。

所訴支撐架103通過可分離式結構搭建在內框架102上，所述可分離式結構包括：

凹槽4，所述凹槽4設置于所述內框架102上，且所述凹槽4的分布位置、分布距離、槽寬大小，是依照待加工工件的大小尺寸做的對應設計，所述支撐架103放置在所述內框架102上位置對應且大小尺寸相符的凹槽4上。

所述內框架102與支撐架103為固定連接在一起的一體式內框架102，所述一體式內框架102中的支撐架103與所述內框架102的上緣為同一水平面，且所述的一體式內框架1的支撐架103的水平高度不高于內框架102的水平高度，且在保持支撐強度足夠的情況下減少支撐架103的厚度。

所述金屬掩膜板還包括兩塊以上的掩膜6，所述掩膜放置在組合好的框架上，同時掩膜6間的拼接采用一種防漏蒸鍍結構，所述防漏蒸鍍結構是在兩塊掩膜6的交疊拼接處采用兩者長度相錯互補的階梯形。

所述金屬掩膜板為鎳鐵合金材料。