[實(shí)用新型]一種金屬掩膜板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822200642.2
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209702837U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張沈鈞
• 申請（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 35219 福州市景弘專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 林祥翔;張忠波<國際申請>=<國際公布>

本實(shí)用新型涉及蒸鍍金屬工藝，應(yīng)用于OLED制作過程，提供了一種金屬掩膜板，具有可替代框架，所述金屬掩膜板包括框架組合機(jī)構(gòu)1，所述框架組合機(jī)構(gòu)1包括：外框架101，內(nèi)框架102，支撐架103。所述外框架101內(nèi)緣處設(shè)有凹槽2，凹槽2上設(shè)置有外框架螺絲穿孔301，所述外框架螺絲穿孔301和設(shè)置在內(nèi)框架102上的內(nèi)框架螺絲穿孔302的位置相對應(yīng)，通過螺絲固定所述內(nèi)外兩框架。內(nèi)框架102上設(shè)置的凹槽4與支撐架103的尺寸大小一致且位置相互對應(yīng)，支撐架103搭建在所述凹槽4上完成兩者的組合連接。

技術(shù)領(lǐng)域

本技術(shù)方案涉及OLED生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種金屬掩膜板，特別是涉及高精密的材料。

背景技術(shù)

目前OLED生產(chǎn)制造過程會使用到一種高精密的金屬掩膜板(FMM Mask)，

金屬掩膜板設(shè)有開口圖案，用于在OLED面板蒸鍍時(shí)設(shè)置于OLED面板前方，蒸鍍時(shí)坩堝中的蒸鍍材料受熱蒸發(fā)，并穿過金屬掩膜板沉積在OLED面板上形成圖形化的有機(jī)發(fā)光層。

所述金屬掩膜板的材質(zhì)為Invar36(鎳鐵合金)，這種材料膨脹系數(shù)低且?guī)в写判砸蚨谡翦冞^程中經(jīng)常被使用來制造掩膜框架。

在實(shí)現(xiàn)本方案的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了現(xiàn)有技術(shù)中存在以下問題：這種材料的特殊性決定了其費(fèi)用要高于一般不銹鋼2倍以上，而在生產(chǎn)不同產(chǎn)品型號的時(shí)候，F(xiàn)MM Mask上的圖形(Pattern)不同則支撐掩膜條(Support Sheet)需配合調(diào)整位置從而導(dǎo)致Frame制作時(shí)需要配合圖形尺寸來制作，由于OLED生產(chǎn)制造對精度要求高，意味圖形尺寸稍有變化就需要制作一整個(gè)新的金屬掩膜板，生產(chǎn)周期更長且成本消耗更高。

實(shí)用新型內(nèi)容

為此，需要提供一種能靈活適應(yīng)不同圖形尺寸需求的掩膜板，能夠減少成本支出、提高生產(chǎn)效率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，發(fā)明人設(shè)計(jì)了一種金屬掩膜板，用于給OLED蒸鍍金屬使用，包括框架組合機(jī)構(gòu)1，所述框架組合機(jī)構(gòu)1包括：

外框架101，用于支撐框架整體，所述外框架101的內(nèi)緣設(shè)有凹槽2，所述凹槽2的表面設(shè)有用于連接內(nèi)框架102的可拆分連接裝置。內(nèi)框架102，所述內(nèi)框架102連接在所述外框架101的凹槽2上，且所述內(nèi)框架102的尺寸大小不大于所述凹槽2的區(qū)域大小。支撐架103，所述支撐架103搭建在所述內(nèi)框架102上，且所述支撐架103的尺寸、大小是依照待加工工件的大小、尺寸、圖案做的相適應(yīng)的設(shè)計(jì)。

所述內(nèi)框架102通過可拆分連接裝置固定在所述凹槽上，所述可拆分連接裝置包括：

螺絲穿孔，在所述凹槽2的表面上挖設(shè)有所述外框架螺絲穿孔301，且在所述內(nèi)框架102的對應(yīng)位置上設(shè)置有內(nèi)框架螺絲穿孔302，螺絲釘通過設(shè)置于所述外框架螺絲穿孔301以及所述內(nèi)框架螺絲穿孔302，將所述的兩個(gè)框架固定連接。

所訴支撐架103通過可分離式結(jié)構(gòu)搭建在內(nèi)框架102上，所述可分離式結(jié)構(gòu)包括：

凹槽4，所述凹槽4設(shè)置于所述內(nèi)框架102上，且所述凹槽4的分布位置、分布距離、槽寬大小，是依照待加工工件的大小尺寸做的對應(yīng)設(shè)計(jì)，所述支撐架103放置在所述內(nèi)框架102上位置對應(yīng)且大小尺寸相符的凹槽4上。

所述內(nèi)框架102與支撐架103為固定連接在一起的一體式內(nèi)框架102，所述一體式內(nèi)框架102中的支撐架103與所述內(nèi)框架102的上緣為同一水平面，且所述的一體式內(nèi)框架1的支撐架103的水平高度不高于內(nèi)框架102的水平高度，且在保持支撐強(qiáng)度足夠的情況下減少支撐架103的厚度。

所述金屬掩膜板還包括兩塊以上的掩膜6，所述掩膜放置在組合好的框架上，同時(shí)掩膜6間的拼接采用一種防漏蒸鍍結(jié)構(gòu)，所述防漏蒸鍍結(jié)構(gòu)是在兩塊掩膜6的交疊拼接處采用兩者長度相錯(cuò)互補(bǔ)的階梯形。

所述金屬掩膜板為鎳鐵合金材料。