[實用新型]一種光斑中心空間位置的測試裝置

有效

• 申請號: 201822200529.4
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209131585U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 李濤;王曉燕;莫俊杰;劉明濤;馮東升
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院流體物理研究所
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 劉興亮

本實用新型公開了一種光斑中心空間位置的測試裝置，該裝置包括依次連接的三坐標儀、連接座和位置敏感探測器組件，所述位置敏感探測器組件包括定位座、調整墊片、壓環和位置敏感探測器，所述位置敏感探測器設置在所述定位座內部，所述位置敏感探測器的感光面設置在所述位置敏感探測器的中心，所述連接座一端連接在三坐標儀的控制手柄上，另一端與位置敏感探測器組件的定位座配合，所述壓環連接在所述定位座上，用于將所述位置敏感探測器的位置進行固定。該裝置將兩種測試設備的優勢功能進行有機融合，實現光斑中心的空間位置測量，為光斑中心空間位置測量提供一種精確且可靠的測試方法。

技術領域

本實用新型涉及光電測試技術領域，具體涉及一種光斑中心空間位置的測試裝置，主要用于光斑中心空間位置的測試。

背景技術

在精密光學實驗中，光束的空間角度作為主要的參數輸入對實驗精度具有重要影響，實際測量時可以采用一定方法捕捉光束上任意位置光斑中心的空間信息，進而通過其中多個坐標位置來擬合光束的空間分布。因此，設計精密的檢測系統來采集光斑中心位置信息，無疑具有重要的科學與工程價值。

隨著現代技術的不斷發展，由于具有精度高、非接觸、效率高等優點，基于機器視覺的數字圖像處理技術在工業測量中應用越來越廣泛。位置敏感探測器(PositionSensitive Detector，PSD)是利用P-N結的橫向光電效應來實現光電轉換的器件，用于探測入射光點的位置，具有位置分辨率高、測試精度高、響應速度快、感光面連續、無盲區等優點，在精密測距和定位上得到了廣泛的應用。然而，PSD僅能反映出光斑中心與PSD感光面中心之間的相對位置關系，不能測量光斑中心的空間位置信息。三坐標測量儀是一種以精密機械為基礎，集光、機、電、計算機綜合為一體的多功能精密測試設備，在先進制造技術和科學研究中有著極其廣泛的應用。三坐標儀通過電氣驅動系統和計算機數據處理軟件系統可以精密測量出被測物位置點空間坐標(x、y、z)的具體數值，進而根據這些點數據處理可以擬合計算得出被測物的幾何信息。然而，三坐標儀雖可以測量出被測點的空間位置坐標，卻不能精確識別并捕捉到光斑中心點。由此看來，雖然PSD和三坐標儀各自具有無可比擬的測試優勢，但在目前光斑中心空間位置測量的實際工程應用中仍有諸多限制。

實用新型內容

為了克服上述技術缺陷，本實用新型提供了一種光斑中心空間位置的測試裝置，該裝置既能克服三坐標儀和位置敏感探測器自身的測試缺陷，又能發揮兩者技術優勢，將兩種測試設備的優勢功能進行有機融合，實現光斑中心的空間位置測量，為光斑中心空間位置測量提供一種精確且可靠的測試方法。

為了達到上述技術效果，本實用新型提供了一種光斑中心空間位置的測試裝置，該裝置包括依次連接的三坐標儀、連接座和位置敏感探測器組件，所述位置敏感探測器組件包括定位座、調整墊片、壓環和位置敏感探測器，所述位置敏感探測器設置在所述定位座內部，所述位置敏感探測器的感光面設置在所述位置敏感探測器的中心，所述連接座一端連接在三坐標儀的控制手柄上，另一端與位置敏感探測器組件的定位座配合，所述壓環連接在所述定位座上，用于將所述位置敏感探測器的位置進行固定。

進一步的技術方案為，所述位置敏感探測器組件的定位座與連接座的配合方式為錐度配合，且共軸設置，并通過螺紋緊固。

進一步的技術方案為，所述調整墊片設置在所述位置敏感探測器底部與定位座之間，用于調整位置敏感探測器的高度。

進一步的技術方案為，所述定位座靠近壓環的一側圓周上安裝有螺釘，用于調整位置敏感探測器的位置和角度。

進一步的技術方案為，所述壓環與所述定位座通過螺紋連接。

進一步的技術方案為，所述連接座與位置敏感探測器組件定位座連接的一端還能夠與三坐標儀測頭相配合，所述三坐標儀測頭與所述連接座之間的配合方式為錐度配合，且共軸設置，并通過螺紋緊固。