[實用新型]一種蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201822198750.0
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209798080U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 張碩;潘曉磊
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/14
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括：蒸鍍腔室和至少一對位置檢測裝置，所述蒸鍍腔室包括收容腔，所述收容腔為真空設置，所述收容腔為用于將金屬物蒸鍍至待加工工件上的腔室，每對所述位置檢測裝置分別嵌設于所述蒸鍍腔室相對設置的第一側壁和第二側壁上，且位于所述待加工工件的兩相對側，用于檢測所述待加工工件，每一所述位置檢測裝置與所述收容腔之間設置有聚光器，所述蒸鍍設備還包括封閉裝置，所述封閉裝置用于封閉所述收容腔。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述第一側壁上包括第一通孔，所述第二側壁上包括第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔內均依次設有所述一對位置檢測裝置中的一個位置檢測裝置、所述聚光器和所述封閉裝置，所述封閉裝置用于封閉所述第一通孔或所述第二通孔。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述封閉裝置為插板閥。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述聚光器為清晰度大于預設數值的鋼化玻璃。

5.根據權利要求2所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔內均設有光學放大器，且分別在所述第一通孔和所述第二通孔內，所述光學放大器位于所述位置檢測裝置和所述聚光器之間。

6.根據權利要求1-5任一項所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述位置檢測裝置為光纖傳感器。

7.根據權利要求1-5任一項所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述位置檢測裝置為光電傳感器。

8.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述收容腔包括第一子腔室、第二子腔室以及位于所述第一子腔室和所述第二子腔室之間的至少一個第三子腔室，所述位置檢測裝置設置于所述第三子腔室對應的側壁上。

9.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸鍍設備還包括抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述收容腔連通。

10.根據權利要求9所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述抽真空裝置為真空泵。