[實用新型]一種多尺寸晶片旋轉夾持機構有效
| 申請號: | 201822197170.X | 申請日: | 2018-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN209190607U | 公開(公告)日: | 2019-08-02 |
| 發明(設計)人: | 張爽;魏猛 | 申請(專利權)人: | 沈陽芯達科技有限公司 |
| 主分類號: | B25B11/00 | 分類號: | B25B11/00 |
| 代理公司: | 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 孫奇 |
| 地址: | 110180 遼寧省沈陽*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶片 壓塊 階梯面 中位 尺寸晶片 晶片支撐 旋轉卡盤 低層 低位 旋轉夾持機構 中層 夾持塊 轉軸 高層 兼容 本實用新型 大尺寸晶片 小尺寸晶片 階梯結構 旋轉電機 重心位置 減重孔 上端面 旋轉卡 下端 轉運 盤旋 配合 | ||
1.一種多尺寸晶片旋轉夾持機構,其特征在于:包括旋轉卡盤、兼容夾持塊、高位晶片壓塊、高位晶片支撐柱、中位晶片壓塊,中位晶片支撐柱、低位晶片壓塊,低位晶片支撐柱和旋轉電機組件;
所述兼容夾持塊呈階梯結構,分為高層階梯面、中層階梯面、低層階梯面;
所述高位晶片壓塊、中位晶片壓塊和低位晶片壓塊通過轉軸分別安裝在高層階梯面、中層階梯面、低層階梯面上;
所述高位晶片支撐柱、中位晶片支撐柱和低位晶片支撐柱分別安裝在高層階梯面、中層階梯面、低層階梯面上,且位于高位晶片壓塊、中位晶片壓塊和低為晶片壓塊的一側;
所述旋轉卡盤上端面設有減重孔,兼容夾持塊固定在旋轉卡盤上;
所述旋轉卡盤下端與旋轉電機連接;
所述高位晶片壓塊、中位晶片壓塊、低位晶片壓塊受到旋轉卡盤旋轉運動產生的離心力,重心位置變化,通過轉軸的配合分別將大尺寸晶片、中尺寸晶片和小尺寸晶片固定。
2.如權利要求1所述的一種多尺寸晶片旋轉夾持機構,其特征在于:所述旋轉卡盤可根據實際需要設計若干減重結構。
3.如權利要求1所述的一種多尺寸晶片旋轉夾持機構,其特征在于:所述兼容夾持塊可根據兼容晶片的種類數量設定階梯的數量。
4.如權利要求1所述的一種多尺寸晶片旋轉夾持機構,其特征在于:所述兼容夾持塊圓周分布在旋轉卡盤上,最佳數量與角度為三個兼容夾持塊呈夾角120°分布,可根據實際需要設定數量與角度。
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