[實(shí)用新型]光束成像裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822196530.4
• 申請(qǐng)日: 2018-12-25
• 公開（公告）號(hào): CN209103032U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田立飛;劉敬偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中科天芯科技（北京）有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/01
• 分類號(hào): G02F1/01
• 代理公司: 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 李博洋

本實(shí)用新型公開了一種光束成像裝置，包括：圖形層、設(shè)置于圖形層兩側(cè)的包層、以及直接接觸設(shè)置于圖形層一側(cè)的包層表面上的電極層。該光束成像裝置，圖形層的兩側(cè)設(shè)置有包層，電極層直接設(shè)置于圖形層一側(cè)的包層上表面，與包層直接接觸，制備過(guò)程簡(jiǎn)單、便捷、易操作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種光束成像裝置。

背景技術(shù)

光束成像裝置是激光雷達(dá)的核心部分，在汽車無(wú)人駕駛和安防環(huán)境監(jiān)測(cè)方面具有優(yōu)異的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng)的光束成像裝置一般采用棱鏡，不利于集成化。現(xiàn)有光束成像裝置中采用半導(dǎo)體集成電路代替棱鏡裝置，具有體積小、價(jià)格低和便于集成化的優(yōu)點(diǎn)。

現(xiàn)有的光束成像裝置的圖形層包括多個(gè)圖形單元，多個(gè)圖形單元之間通過(guò)鈍化層進(jìn)行隔離，在鈍化層上設(shè)置開口以暴露圖形單元，并在開口處形成電極層，使得電極層與圖形單元接觸以對(duì)圖形層中的傳輸?shù)墓膺M(jìn)行調(diào)制，制備過(guò)程較復(fù)雜。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種光束成像裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中光束成像裝置制備復(fù)雜的問(wèn)題。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種光束成像裝置，包括：圖形層、設(shè)置于所述圖形層兩側(cè)的包層、以及直接接觸設(shè)置于所述圖形層一側(cè)的包層表面上的電極層。

可選地，還包括：襯底層，設(shè)置在所述圖形層另一側(cè)的包層表面上。

可選地，所述圖形層的折射率大于所述包層的折射率。

可選地，所述電極層在所述圖形層上的投影至少覆蓋所述圖形層。

可選地，所述圖形層包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的圖形單元。

可選地，所述圖形單元的形狀包括長(zhǎng)方體、圓柱、圓錐或者圓環(huán)。

可選地，所述圖形單元的形狀為長(zhǎng)方體，所述長(zhǎng)方體的厚度為20nm－5000nm，寬度為20nm－5000nm。

可選地，相鄰所述圖形單元的間距為20nm－5000nm。

可選地，所述圖形層的折射率高于2.3。

可選地，所述包層和/或所述圖形層中的至少一個(gè)的禁帶寬度不小于2.3eV。

本實(shí)用新型提出的技術(shù)方案，具有如下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光束成像裝置，包括：圖形層、設(shè)置于圖形層兩側(cè)的包層、以及直接接觸設(shè)置于圖形層一側(cè)的包層表面上的電極層。上述光束成像裝置，圖形層的兩側(cè)設(shè)置有包層，電極層直接設(shè)置于圖形層一側(cè)的包層上表面，與包層直接接觸，制備過(guò)程簡(jiǎn)單、便捷、易操作。并且包層將光波限制在圖形層中傳輸，降低傳輸損耗，提高了光傳輸效率。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中光束成像裝置的一個(gè)具體示例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中光束成像裝置的另一個(gè)具體示例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中光束成像裝置的另一個(gè)具體示例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中光束成像裝置的另一個(gè)具體示例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例中光束成像裝置的另一個(gè)具體示例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例中光束成像裝置的另一個(gè)具體示例的結(jié)構(gòu)示意圖。