[實(shí)用新型]一種用于大尺寸線掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822193705.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN209351733U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林偉;肖鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都路維光電有限公司
• 主分類號(hào): B65B65/00
• 分類號(hào): B65B65/00;B65G47/248;B65G41/00;B65G13/00
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

本實(shí)用新型公開了一種用于大尺寸線掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括支撐部、旋轉(zhuǎn)部和傳動(dòng)部，所述支撐部包括框架，所述旋轉(zhuǎn)部包括底座，所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在框架上端面，所述底座上端面的一個(gè)端部設(shè)置有立板，所述底座的上端面至少對(duì)稱設(shè)置有2排支撐座，2個(gè)對(duì)稱的支撐座之間設(shè)置有滾筒，所述傳動(dòng)部包括設(shè)置在框架上的滾珠絲杠，所述滾珠絲杠上配套設(shè)置有滾珠絲杠螺母，所述滾珠絲杠的端部設(shè)置有搖桿，所述傳動(dòng)部還包括連桿，所述連桿一端與滾珠絲杠螺母鉸接，另一端與底座的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了將大尺寸掩膜版從豎直狀態(tài)安全、高效地轉(zhuǎn)運(yùn)到水平狀態(tài)，降低手動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)的工作量和風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及掩膜版制作技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于大尺寸線掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置。

背景技術(shù)

光掩膜版也稱為Mask，俗稱光罩，是用于平板顯示、集成電路等制造的重要模具，是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。其主要流程是通過光刻設(shè)備描繪出所需的各種設(shè)計(jì)幾何圖形，通過顯影制程，去除掉基板上不需要的光阻材料，再通過蝕刻制程，去除掉不被光阻覆蓋的鉻膜，再通過脫膜液去除殘留下來的光阻，最后在基板上形成所設(shè)計(jì)圖形效果，整個(gè)圖形構(gòu)成透光和不透光的區(qū)域。

掩膜版是光刻復(fù)制圖形的基準(zhǔn)和藍(lán)本，光刻掩膜版上的任何缺陷都會(huì)對(duì)最終圖形精度都會(huì)有較大影響，并直接影響最終制品的優(yōu)品率。

在掩膜版的制造及后續(xù)的儲(chǔ)運(yùn)、安裝過程時(shí)，涉及到大量要搬運(yùn)掩膜版、掩膜版玻璃基板的環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)的做法是由操作人員用手動(dòng)的方式對(duì)掩膜版、掩膜版玻璃基板進(jìn)行抓取、轉(zhuǎn)運(yùn)或搬運(yùn)。隨著顯示面板尺寸的不斷增大，掩膜版尺寸也隨之增大，目前11代TFT-LCD掩膜版尺寸為1620mm×1780mm×17mm，傳統(tǒng)的搬運(yùn)方式也不再適用。同時(shí)，產(chǎn)品尺寸增大后，對(duì)臟污、顆粒等缺陷的要求更加嚴(yán)格，傳統(tǒng)手動(dòng)的方式會(huì)對(duì)產(chǎn)品帶來更大的品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)。

大尺寸掩膜版在生產(chǎn)過程中，一般需要采用將掩膜版水平放置的方式進(jìn)行運(yùn)輸。同時(shí)，掩膜版的運(yùn)輸需要進(jìn)行保護(hù)，有專門的遮光、防塵、防靜電的包裝箱裝運(yùn)。目前，大尺寸掩膜版包裝箱的放置方式一般設(shè)計(jì)為豎直放置，包裝箱底部設(shè)置有可以活動(dòng)的輪子。因此，為了配合大尺寸掩膜版在生產(chǎn)過程中水平運(yùn)輸?shù)姆绞剑枰獙b箱從豎直狀態(tài)轉(zhuǎn)運(yùn)到水平狀態(tài)。由于大尺寸掩膜版尺寸較大，其包裝箱尺寸也較大，包裝箱加上其中掩膜版的重量已經(jīng)不再適用人工操作的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于大尺寸線掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，實(shí)現(xiàn)將大尺寸掩膜版從豎直狀態(tài)安全、高效地轉(zhuǎn)運(yùn)到水平狀態(tài)，降低手動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)的工作量和風(fēng)險(xiǎn)。

本實(shí)用新型通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種用于大尺寸線掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括支撐部、旋轉(zhuǎn)部和傳動(dòng)部，所述支撐部包括框架，所述旋轉(zhuǎn)部包括底座，所述底座轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在框架上端面，所述底座上端面的一個(gè)端部設(shè)置有立板，所述底座的上端面至少對(duì)稱設(shè)置有2排支撐座，2個(gè)對(duì)稱的支撐座之間設(shè)置有滾筒，所述傳動(dòng)部包括設(shè)置在框架上的滾珠絲杠，所述滾珠絲杠上配套設(shè)置有滾珠絲杠螺母，所述滾珠絲杠的端部設(shè)置有搖桿，所述傳動(dòng)部還包括連桿，所述連桿一端與滾珠絲杠螺母鉸接，另一端與底座的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

所述大尺寸線掩膜版具體是指4.5代-11代，掩膜版尺寸涵蓋520*800*10mm-1620*1780*17mm。

大尺寸掩膜版包裝箱屬于直立放置，由于生產(chǎn)設(shè)備要求，需要將其放倒至水平狀態(tài)，由于重量等原因，不便于純?nèi)斯げ僮鳌?/p>

本實(shí)用新型所述支撐部的作用是為旋轉(zhuǎn)部和傳動(dòng)部提供支撐和安裝位置，其上會(huì)設(shè)置有與旋轉(zhuǎn)部連接的軸孔以及用于安裝傳動(dòng)部的螺孔，所述滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)時(shí)滾珠絲杠螺母會(huì)產(chǎn)生軸向力，通過連桿傳遞力使旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)，所有滾動(dòng)部件均設(shè)計(jì)有軸承，所述滾珠絲杠上和滾珠絲杠螺母均為現(xiàn)有技術(shù)，所述立板的寬度設(shè)計(jì)為所有產(chǎn)品可用的寬度，轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)需要操作人員輕微扶著掩膜版包裝箱。