[實用新型]臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置有效
| 申請號: | 201822186090.4 | 申請日: | 2018-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN209342064U | 公開(公告)日: | 2019-09-03 |
| 發明(設計)人: | 龔云輝;周旭環;黃婭芳;王光偉;王玉彬;朱俊 | 申請(專利權)人: | 云南北方馳宏光電有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/24 | 分類號: | G01B11/24;B25B11/00 |
| 代理公司: | 西安東靈通專利代理事務所(普通合伙) 61242 | 代理人: | 朱玲 |
| 地址: | 655000 *** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 大口徑光學零件 拋光模 面形 光學零件表面 夾持固定裝置 本實用新型 干涉儀測量 固定主板 光學零件 干涉儀 測量 光學元件 夾持固定 加工檢測 面形測量 面形檢測 夾持器 連接軸 粘接層 檢測 夾持 損傷 口徑 保證 | ||
本實用新型提供了一種臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置,涉及光學零件表面面形測量技術領域。具體包括固定主板和拋光模,固定主板和拋光模之間通過連接軸固定連接,拋光模上通過粘接層粘接待檢測光學零件,對待檢測光學零件進行夾持固定。本實用新型主要針對臥式干涉儀,使其能夠測量口徑超出其夾持范圍的光學元件,使大口徑光學零件面形檢測不受干涉儀自身限制,而且避免了夾持器對光學零件表面面形的損傷,擴展了加工檢測范圍,并保證了測量精度。
技術領域
本實用新型涉及光學零件表面面形測量技術領域,尤其是一種臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置。
背景技術
隨著天文學、航天光學、空間遙感光學以及空間基地目標探測與識別等技術的發展,大口徑光學系統的需求越來越廣泛,并且對光學元件的口徑要求越來越大,精度要求越來越高。但是在光學元件的生產過程中,其口徑往往受到檢測儀器的限制;并且由于大口徑零件自身較重,夾持時相應需要更大的力量,而夾持力過大往往會使得零件表面發生形變,從而影響面形測量。
一般臥式干涉儀測量零件時,零件均通過干涉儀自帶夾持器進行夾持,夾持器有最大口徑的限制,對于超過這個最大口徑的大口徑光學零件無法夾持測量,限制了臥式干涉儀的測量范圍,并且其自帶的夾持器會對零件施加垂直于光軸的壓力,容易導致零件表面發生形變,使得測量結果不準確。
實用新型內容
本實用新型的目的是提供一種臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置,用以解決現有技術中存在的上述問題。
為了達到上述目的,本實用新型提供如下技術方案:
一種臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置,包括固定主板和拋光模,所述固定主板和拋光模之間通過連接軸固定連接,所述拋光模上通過粘接層粘接待檢測光學零件,對待檢測光學零件進行夾持固定。
在一種優選的實施方式中,所述粘接層為柏油。
在一種優選的實施方式中,還包括加強筋,所述加強筋通過螺釘固定連接在所述固定主板上。
在一種優選的實施方式中,所述固定主板固定在干涉儀三維測量平臺上。
本實用新型的臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置,主要針對臥式干涉儀,使其能夠測量口徑超出其夾持范圍的光學元件,使大口徑光學零件面形檢測不受干涉儀自身限制,而且對零件面形精度基本沒有影響,避免了夾持器的夾持力對光學零件表面面形的損傷,擴展了加工檢測范圍,并保證了測量精度。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1是本實用新型的臥式干涉儀測量大口徑光學零件面形的零件夾持固定裝置結構示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型的附圖,對本實用新型的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
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