[實(shí)用新型]一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822177492.8
• 申請(qǐng)日: 2018-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209922073U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史麗萍;徐長(zhǎng)坡;陳澄;李亞哲;陳凱;謝依燁;陳春江;梁效峰;楊玉聰;王浩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65D90/02
• 分類(lèi)號(hào): B65D90/02;B65D88/54;B65D90/48
• 代理公司: 12213 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 欒志超

一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置，包括不銹鋼源罐和放置于源罐內(nèi)部的石英罐，源罐的頂部設(shè)有上蓋，上蓋上有進(jìn)液管和出口管，石英罐的底部設(shè)有兩個(gè)加厚部，加厚部之間為凹槽，補(bǔ)液管分別穿過(guò)源罐和石英罐設(shè)于凹槽內(nèi)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：在不銹鋼源罐中內(nèi)置石英罐，防止液態(tài)源對(duì)鐵氟龍涂層的腐蝕，保證了液態(tài)源的清潔；石英罐表面平滑且附件少易清洗，補(bǔ)液管設(shè)于石英罐底部，可以減少補(bǔ)充液對(duì)石英罐內(nèi)的液態(tài)源壓力和溫度的變化，保證液態(tài)源的儲(chǔ)存環(huán)境。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及儲(chǔ)存裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體硅片產(chǎn)能日趨擴(kuò)大，半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)用的源罐為不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)部鍍有鐵氟龍涂層，鐵氟龍涂層一定時(shí)間后會(huì)產(chǎn)生收縮和脫落現(xiàn)象，對(duì)液態(tài)源造成污染，也會(huì)對(duì)硅片造成傷害；且源罐清洗頻次較大，清洗過(guò)程中清洗劑的腐蝕和無(wú)塵布的反復(fù)擦拭，也會(huì)引起涂層的脫落，因此本發(fā)明提供一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置，能夠保證液態(tài)源的清潔和硅片的完整。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的問(wèn)題是提供一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的兩端設(shè)有兩個(gè)加厚部，所述加厚部之間的凹槽上設(shè)有補(bǔ)液管，所述源罐設(shè)有上蓋，所述上蓋上設(shè)有進(jìn)液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。

進(jìn)一步地，所述石英罐內(nèi)設(shè)有液位計(jì)，所述補(bǔ)液管上設(shè)有控制閥，所述液位計(jì)通過(guò)所述控制閥控制所述補(bǔ)液管開(kāi)關(guān)。

具體的，所述液位計(jì)為浮球液位計(jì)。

進(jìn)一步地，所述石英罐底部的凹槽中設(shè)有加熱棒。

進(jìn)一步地，所述石英罐中設(shè)有壓力傳感器，所述壓力傳感器通過(guò)電磁閥與所述補(bǔ)液管連接。

本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：

(1)在不銹鋼源罐中增加內(nèi)置石英罐，液態(tài)源與石英材料直接接觸，防止了液態(tài)源對(duì)鐵氟龍涂層的腐蝕，保證了液態(tài)源的清潔；不銹鋼源罐的附加裝置和密封部件較難清洗，石英罐表面平滑且不帶有附加裝置，清洗過(guò)程簡(jiǎn)單方便，提高了工作效率；

(2)石英罐底部設(shè)有凹槽，液態(tài)源較少時(shí)都集中在凹槽處，可以提高液態(tài)源的使用率；

(3)補(bǔ)液管設(shè)于石英罐底部，可以減少補(bǔ)充液對(duì)石英罐內(nèi)液態(tài)源壓力和溫度的變化，保證液態(tài)源的儲(chǔ)存環(huán)境，提高液態(tài)源的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖圖中：1.源罐，2.石英罐，3.上蓋，4.進(jìn)液管，5.出口管，6.加厚部，7. 加熱棒，8.補(bǔ)液管，9液位計(jì)

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例做進(jìn)一步描述：

如圖1本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖所示，一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置，包括源罐1和放置于源罐1內(nèi)部的石英罐2，源罐1的頂部設(shè)有上蓋3，上蓋3上有進(jìn)液管4和出口管5，石英罐2的底部設(shè)有兩個(gè)加厚部6，加厚部6 之間為凹槽，補(bǔ)液管8分別穿過(guò)源罐1和石英罐2設(shè)于凹槽內(nèi)。

一種液態(tài)源的儲(chǔ)存裝置，主要用于SiCl4、GeCl4、POCl3、TCS等高腐蝕液的儲(chǔ)存，由于該液態(tài)源一般情況下以液態(tài)儲(chǔ)存，使用時(shí)為氣態(tài)，因此源罐的上蓋3有進(jìn)液管4和出口管5，出口管5用于將轉(zhuǎn)化后的氣體通入反應(yīng)腔用于生產(chǎn)。石英罐2底部的兩端設(shè)有兩個(gè)加厚部6，兩個(gè)加厚部6之間形成凹槽，當(dāng)液態(tài)源含量較少時(shí)都集中在凹槽處，出口管5的一端設(shè)于凹槽內(nèi)，可以充分的利用石英罐2內(nèi)部的液態(tài)源，提高液態(tài)源的使用率。