[實用新型]一種檢測裝置

有效

• 申請號: 201822173772.1
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN209282167U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 張淋;高嘉梁;湯小龍
• 申請（專利權）人: 蘇州寶馨科技實業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

1.一種檢測裝置，所述檢測裝置設置在機械手(3)上，其特征在于，包括多個第一傳感機構(1)和多個第二傳感機構(2)；

所述第一傳感機構(1)包括第一傳感器、第一防護罩(12)和第一支座(13)，所述第一傳感器設置在所述第一防護罩(12)內，所述第一防護罩(12)可調節的設置在所述第一支座(13)上；

所述第二傳感機構(2)包括第二傳感器、第二防護罩(22)和第二支座(23)，所述第二傳感器設置在所述第二防護罩(22)內，所述第二防護罩(22)可調節的設置在所述第二支座(23)上；

所述多個第一傳感機構(1)設置在機械手臂(31)的一側，所述多個第二傳感機構(2)設置在所述機械手臂(31)的另一側。

2.根據權利要求1所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第一傳感機構(1)還包括第一開關；所述第二傳感機構(2)還包括第二開關，所述第一開關和所述第二開關均為光電感應開關。

3.根據權利要求1所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第一防護罩(12)上設置有第一安裝孔和第一調節孔(121)，所述第一傳感器設置在第一安裝孔內，所述第一調節孔(121)內設有第一螺栓(11)，所述第一傳感器與所述第一螺栓(11)通過設置在所述第一防護罩(12)內的第一連接件相連，所述第一螺栓(11)能夠沿所述第一調節孔(121)移動。

4.根據權利要求1所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第二防護罩(22)上設置有第二安裝孔和第二調節孔(221)，所述第二傳感器設置在第二安裝孔內，所述第二調節孔(221)內設有第二螺栓(21)，所述第二傳感器與所述第二螺栓(21)通過設置在所述第二防護罩(22)內的第二連接件相連，所述第二螺栓(21)能夠沿所述第二調節孔(221)移動。

5.根據權利要求1所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第一傳感器和所述第二傳感器均設有發射模塊和接收模塊。

6.根據權利要求1所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第一支座(13)上設置有第一定位槽(131)，所述第一防護罩(12)設置在所述第一定位槽(131)內，所述第一防護罩(12)通過螺栓與所述第一定位槽(131)螺紋連接，所述第一防護罩(12)能夠在所述第一定位槽(131)內轉動。

7.根據權利要求6所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第二支座(23)上設置有第二定位槽(231)，所述第二防護罩(22)設置在所述第二定位槽(231)內，所述第二防護罩(22)通過螺栓與所述第二定位槽(231)螺紋連接，所述第二防護罩(22)能夠在所述第二定位槽(231)內轉動。

8.根據權利要求7所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第一定位槽(131)與所述第一防護罩(12)一一相對應；所述第二定位槽(231)與所述第二防護罩(22)一一對應。

9.根據權利要求1所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述多個第一傳感機構(1)和所述多個第二傳感機構(2)設置在機械手(3)的底座(32)上。

10.據權利要求1或9所述的一種檢測裝置，其特征在于，所述第一傳感機構(1)為兩個，所述第二傳感機構(2)為兩個。