[實(shí)用新型]基板疊層檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822172698.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN209514096U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李曉明;李長(zhǎng)團(tuán);陳煥新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市杰普特光電股份有限公司
• 主分類號(hào): G01V8/12
• 分類號(hào): G01V8/12
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 李文淵

1.一種基板疊層檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)置于夾具平臺(tái)的基板是否疊層，其特征在于，包括：

距離檢測(cè)裝置(100)，設(shè)置于所述夾具平臺(tái)靠近所述基板的一側(cè)，用于檢測(cè)所述距離檢測(cè)裝置(100)與所述基板表面之間的距離；

處理器(200)，與所述距離檢測(cè)裝置(100)信號(hào)連接，用于根據(jù)所述距離檢測(cè)裝置(100)與所述基板表面之間的距離判斷置于所述夾具平臺(tái)的所述基板是否疊層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述距離檢測(cè)裝置(100)為激光位移傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述距離檢測(cè)裝置(100)包括：

檢測(cè)探頭(110)；

通訊機(jī)構(gòu)(120)，與所述檢測(cè)探頭(110)和所述處理器(200)信號(hào)連接，用于傳輸所述檢測(cè)探頭(110)與所述處理器(200)之間的通訊信號(hào)；

電源(130)，與所述檢測(cè)探頭(110)和所述通訊機(jī)構(gòu)(120)電連接，用于向所述檢測(cè)探頭(110)和所述通訊機(jī)構(gòu)(120)供電。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)探頭(110)包括：

激光發(fā)射器(111)，與所述電源(130)電連接，用于向所述基板表面發(fā)射激光；

激光接收器(112)，與所述電源(130)電連接，用于接收經(jīng)所述基板表面反射的激光；

距離測(cè)算器(113)，與所述激光發(fā)射器(111)、所述激光接收器(112)及所述通訊機(jī)構(gòu)(120)信號(hào)連接，與所述電源(130)電連接，用于根據(jù)所述激光發(fā)射器(111)發(fā)射激光的時(shí)間和所述激光接收器(112)接收激光的時(shí)間計(jì)算所述檢測(cè)探頭(110)與所述基板表面之間的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述通訊機(jī)構(gòu)(120)包括串口轉(zhuǎn)換器(121)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述電源(130)包括開關(guān)電源(131)，所述開關(guān)電源(131)與所述檢測(cè)探頭(110)和所述通訊機(jī)構(gòu)(120)電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述距離檢測(cè)裝置(100)與所述夾具平臺(tái)之間的距離為42mm-52mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括：

報(bào)警器(300)，與所述處理器(200)信號(hào)連接，用于當(dāng)置于所述夾具平臺(tái)的所述基板疊層時(shí)報(bào)警。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，所述報(bào)警器(300)為燈光報(bào)警器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板疊層檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括：

顯示裝置(400)，與所述處理器(200)信號(hào)連接。