[實用新型]一種氣路控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822172332.4
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN209198950U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王世新;高昕;馬建州;袁海軍
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫創(chuàng)想分析儀器有限公司
• 主分類號: G05D7/00
• 分類號: G05D7/00;G01J3/28;G01J3/02
• 代理公司: 無錫派爾特知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32340
• 代理人: 楊立秋

本實用新型公開一種氣路控制系統(tǒng)，屬于光譜分析儀器領(lǐng)域。所述氣路控制系統(tǒng)包括減壓閥，所述減壓閥依次連接有大流量控制閥、大流量調(diào)節(jié)閥和流量計，所述減壓閥還連接有小流量調(diào)節(jié)閥，所述小流量調(diào)節(jié)閥通過所述流量計與光室連接；所述氣路控制系統(tǒng)還包括氣體檢測儀和控制器，所述氣體檢測儀安裝在光室內(nèi)，所述控制器分別與所述大流量控制閥和所述氣體檢測儀連接。光室氬氣不足時，氬氣大流量置換，光室氬氣充足時，氬氣小流量置換。有效解決了光譜分析儀器在工作時，氬氣置換產(chǎn)生浪費的問題，既保證了氬氣的純度，又節(jié)約了成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光譜分析儀技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣路控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

光譜分析儀為了保證真空室里的氬氣純度，常常采取輸入氬氣，進行置換的方法來保證。一般單位也采取大、小流量來控制。但為了能隨時工作，故氬氣要不斷地進行置換。但是在設(shè)備利用率不高時，也要對光室進行充氬氣，會造成很大的浪費。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種氣路控制系統(tǒng)，以解決光譜分析儀在工作時，氬氣要不斷地進行置換，在設(shè)備利用率不高時，會造成很大浪費的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種氣路控制系統(tǒng)，所述氣路控制系統(tǒng)包括減壓閥，所述減壓閥依次連接有大流量控制閥、大流量調(diào)節(jié)閥和流量計，所述減壓閥還連接有小流量調(diào)節(jié)閥，所述小流量調(diào)節(jié)閥通過所述流量計與光室連接；所述氣路控制系統(tǒng)還包括氣體檢測儀和控制器，所述氣體檢測儀安裝在光室內(nèi)，所述控制器分別與所述大流量控制閥和所述氣體檢測儀連接。

進一步地，所述氣路控制系統(tǒng)還包括進口單向閥，所述進口單向閥的出口與所述減壓閥連接。

進一步地，所述氣路控制系統(tǒng)還包括出口單向閥，所述出口單向閥的進口與所述流量計連接，所述出口單向閥的出口與光室連接。

進一步地，所述氣路控制系統(tǒng)還包括用于安裝流量計的流量計連接板。

在本實用新型提供的氣路控制系統(tǒng)中，所述氣路控制系統(tǒng)可根據(jù)光室內(nèi)的氬氣濃度對充入氬氣的流量自動控制，它不僅解決了光譜分析儀工作時激發(fā)臺對氬氣的要求。而且也解決了光室對氬氣純度的要求。其人性化的設(shè)計，最大限度地為用戶節(jié)省氬氣，降低使用成本。

附圖說明

圖1是氣路控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是氣路控制系統(tǒng)工作原理示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的一種氣路控制系統(tǒng)作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。