[實用新型]用于對電極調溫的系統以及處理設備

有效

• 申請號: 201822167758.0
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209119039U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: C·伯姆;S·拉施克
• 申請（專利權）人: 邁爾博爾格(德國)有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 劉盈

1.用于對電極調溫的系統，所述系統具有至少一個熱導管、至少一個耦合元件和至少一個調溫裝置，其中，所述熱導管能至少部分地并且以至少一個第一端部設置在電極中，所述耦合元件適合于加熱或冷卻熱導管的第二端部，并且調溫裝置適合于加熱或冷卻耦合元件，其中，所述電極和所述調溫裝置相互電分離。

2.按照權利要求1所述的系統，其特征在于，所述耦合元件是電極的外表面的至少一部分，熱導管的第二端部鄰接于該部分并且該部分相對于電極的其他區域具有提高的熱吸收度。

3.按照權利要求1所述的系統，其特征在于，所述耦合元件是與電極分開的由具有高導熱性的材料制成的基體并且能設置在電極的外表面的如下區域中，所述區域鄰接于電極的可至少設置有熱導管的第二端部的體積區域。

4.按照權利要求1所述的系統，其特征在于，所述耦合元件是與電極分開的由具有高導熱性的材料制成的基體，在該基體中至少設置有熱導管的第二端部。

5.按照權利要求3或4所述的系統，其特征在于，所述耦合元件由導電的材料制成。

6.按照權利要求3或4所述的系統，其特征在于，所述耦合元件由電絕緣的材料制成。

7.按照權利要求3或4所述的系統，其特征在于，所述耦合元件具有相對于耦合元件的其他區域提高的熱吸收度或提高的導熱性的傳熱面。

8.按照權利要求1至4之一所述的系統，其特征在于，所述調溫裝置是紅外輻射器、感應器、電阻性的加熱器或基于流體的裝置。

9.按照權利要求1至4之一所述的系統，其特征在于，所述系統還包含溫度測量單元和控制單元，其中，所述溫度測量單元適合于確定與耦合元件的溫度相關聯的參數，控制單元適合于控制調溫裝置。

10.處理設備，具有處理室和至少一個在處理室之內的電極，其特征在于，所述處理設備還具有至少一個按照權利要求1至9之一所述的用于對電極調溫的系統。

11.按照權利要求10所述的處理設備，其特征在于，至少一個用于對電極調溫的第一系統的調溫裝置設置在處理室之外。

12.按照權利要求11所述的處理設備，其特征在于，用于對電極調溫的第一系統的耦合元件完全設置在處理室之內并且用于對電極調溫的第一系統的調溫裝置是紅外輻射器或感應器。

13.按照權利要求10至12之一所述的處理設備，其特征在于，所述處理設備具有多個電極和多個用于對電極調溫的系統，其中，至少兩個用于對電極調溫的系統中的耦合元件通過至少一個附加的熱導管相互連接。

14.按照權利要求10至12之一所述的處理設備，其特征在于，

-所述處理設備具有多個在處理室之內的電極，所述電極的作用面分別平行于彼此并且相對置地設置，并且相鄰的電極與一個或多個電壓供應裝置連接，使得這些電極能夠加載不同的電極電壓，

-用于對電極調溫的系統分別包括耦合元件，所述耦合元件是與電極分開的由具有高導熱性的材料制成的基體并且能設置在電極的外表面的如下區域中，所述區域鄰接于電極的可至少設置有熱導管的第二端部的體積區域；或者所述耦合元件是與電極分開的由具有高導熱性的材料制成的基體，在該基體中至少設置有熱導管的第二端部，其中，所述耦合元件分別在其外表面中的至少一個外表面上具有與所配置的電極相同的電勢，并且

-用于對電極調溫的系統中的配設給相鄰電極的耦合元件在至少一個垂直于相鄰電極的距離的方向上相互位錯地設置。

15.按照權利要求10至12之一所述的處理設備，其特征在于，至少一個用于對電極調溫的系統的耦合元件與電壓供應裝置連接，并且所述耦合元件單獨地或與相應的至少一個熱導管共同地適合于對所配置的電極加載電極電壓。