[實用新型]一種分片裝置

有效

• 申請號: 201822159879.0
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209045509U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 李永杰;張建峰;朱元;王森
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種分片裝置，包括工作臺(1)，所述工作臺(1)被配置為承載花籃(2)，其特征在于，所述分片裝置還包括：

上吸盤(3)，所述上吸盤(3)設置于所述工作臺(1)的上方，所述上吸盤(3)包括多個平行且間隔設置的上吸片(31)；及

側吸盤(4)，所述側吸盤(4)設置于所述工作臺(1)的一側，所述側吸盤(4)包括多個平行且間隔設置的側吸片(41)；

所述側吸盤(4)和所述上吸盤(3)均能伸入到所述花籃(2)內，且伸入所述花籃(2)同一卡槽(221)內的所述側吸片(41)和所述上吸片(31)分別位于貼合的兩張硅片(5)的兩側以分別吸附一張所述硅片(5)，所述側吸片(41)和所述上吸片(31)沿豎直方向間隔指定距離H。

2.如權利要求1所述的分片裝置，其特征在于，所述指定距離H為35mm-40mm。

3.如權利要求2所述的分片裝置，其特征在于，所述指定距離H為37mm。

4.如權利要求1所述的分片裝置，其特征在于，所述側吸片(41)吸附所述硅片(5)表面靠近下端的部分；所述上吸片(31)吸附所述硅片(5)表面靠上端的部分。

5.如權利要求1-4中任一項所述的分片裝置，其特征在于，所述分片裝置還包括：

第一驅動機構，所述第一驅動機構被配置為驅動所述上吸盤(3)伸入所述花籃(2)內或由所述花籃(2)內抽出，并驅動所述上吸盤(3)在水平方向上沿靠近或遠離所述硅片(5)的方向移動；及

第二驅動機構，所述第二驅動機構被配置為驅動所述側吸盤(4)伸入所述花籃(2)內或由所述花籃(2)抽出，并驅動所述側吸盤(4)在水平方向上沿靠近或遠離所述硅片(5)的方向移動。

6.如權利要求5所述的分片裝置，其特征在于，所述第一驅動機構包括：

升降組件，所述升降組件被配置為驅動所述上吸盤(3)升降；及

平移組件，所述平移組件設置于所述升降組件上且與所述上吸盤(3)連接，所述平移組件被配置驅動所述上吸盤(3)沿靠近或遠離所述硅片(5)的方向移動。

7.如權利要求1-4中任一項所述的分片裝置，其特征在于，所述分片裝置還包括：

定位組件，所述定位組件設置于所述工作臺(1)上，所述定位組件用于固定所述花籃(2)。

8.如權利要求7所述的分片裝置，其特征在于，所述定位組件包括：

至少一組定位件(6)，每組定位件(6)包括兩個位于所述花籃(2)相對兩側的定位件(6)，所述定位件(6)與所述花籃(2)抵接。

9.如權利要求8所述的分片裝置，其特征在于，所述定位件(6)為氣缸。

10.如權利要求8所述的分片裝置，其特征在于，所述定位組件包括兩組定位件(6)，兩組定位件(6)中的一組沿所述花籃(2)的寬度方向設置，另一組沿所述花籃(2)的長度方向設置。