[實用新型]反應槽的旁通式液位檢測結構

有效

• 申請號: 201822159163.0
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209181866U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 左國軍;成旭
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創精密機械有限公司
• 主分類號: G01F23/02
• 分類號: G01F23/02
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

本實用新型公開了一種反應槽的旁通式液位檢測結構，包括反應槽；旁通管，其一端與反應槽的底部連通；液位檢測管，豎直設置，其下端與旁通管的另一端連通；液位傳感器，安裝在液位檢測管的頂部；排氣管，其一端與液位檢測管的上端連通，另一端與空氣連通。本實用新型反應槽的旁通式液位檢測結構，反應槽內液位高度的檢測準確度較高，不會損壞硅片，維護方便、安全。

技術領域

本實用新型涉及反應槽技術領域，更具體地說，是涉及一種反應槽的旁通式液位檢測結構。

背景技術

在清洗設備中，接觸和浸沒硅片的液位高度對片子的絨面和清洗效果有很大的影響，特別是在進行濕法刻蝕工序上，液位太高會導致過刻，液位太低硅片可能接觸反應不充分，絨面不均勻，減重達不到要求，在硅片電池制成的過程中，不同的工藝對片子的減重也不同，需要對液位的高度和配方進行調整。

目前，反應槽內的液位高度是通過浮球來檢測的，這樣的檢測結構具有以下缺點：

1.浮球在反應槽內，處理中的硅片可能會碰到，造成硅片的損害，及堵片；

2.浮球檢測只是開關量檢測，無法準確定義液位的高度，無法達到同樣的工藝，同樣的硅片清洗反應時，每次調節的液位高度一致，

3.調節控制液位的高度時，更多是靠經驗，只能反饋泵的頻率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題，是提供一種反應槽的旁通式液位檢測結構，具有較高的液位檢測準確度，不會損壞硅片，維護方便、安全。

為了實現上述的目的，本實用新型的技術方案是：

一種反應槽的旁通式液位檢測結構，包括反應槽；旁通管，其一端與反應槽的底部連通；液位檢測管，豎直設置，其下端與旁通管的另一端連通；液位傳感器，安裝在液位檢測管的頂部；排氣管，其一端與液位檢測管的上端連通，另一端與空氣連通。

進一步地，所述液位檢測管的下側還設置有排液閥。

進一步地，所述反應槽的兩側還設有溢液槽。

進一步地，所述反應槽的下側還設有調節閥門、泵和儲液槽。

進一步地，所述調節閥門的一端通過進液管與反應槽的底部連通，調節閥門的另一端與泵的一端連通，泵的另一端通過管道與儲液槽連通。

進一步地，所述排液閥的一端與液位檢測管連通，另一端與溢流管連通。

進一步地，所述溢液槽通過溢流管與儲液槽連通。

本實用新型的有益效果：本實用新型反應槽的旁通式液位檢測結構，反應槽內液位高度的檢測準確度較高，不會損壞硅片，維護方便、安全。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型解決的技術問題、采用的技術方案、取得的技術效果易于理解，下面結合具體的附圖，對本實用新型的具體實施方式做進一步說明。

需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本實用新型有關的部分而非全部結構。

如圖1所示，在本實用新型的一個具體實施例中，提供了一種反應槽的旁通式液位檢測結構，包括反應槽1、旁通管3、液位檢測管6、液位傳感器4和排氣管5。