[實(shí)用新型]校準(zhǔn)制品和用于校準(zhǔn)制品的保持設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201822158885.4 | 申請(qǐng)日： | 2018-12-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN210089632U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-02-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | L.海澤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 卡爾·馬爾控股有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/24 | 分類號(hào)： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 楊倩;陳浩然 |
| 地址： | 德國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 校準(zhǔn) 制品 用于 保持 設(shè)備 | ||
1.一種校準(zhǔn)制品(10)，所述校準(zhǔn)制品用于測(cè)量系統(tǒng)，所述測(cè)量系統(tǒng)具有光學(xué)檢測(cè)設(shè)備并且被構(gòu)造為沿著旋轉(zhuǎn)對(duì)稱物體的軸向延伸方向測(cè)量所述旋轉(zhuǎn)對(duì)稱物體的輪廓，其特征在于，
所述校準(zhǔn)制品(10)具有透明襯底(11)，其上具有由不透明材料制成的校準(zhǔn)單元(14)，所述校準(zhǔn)單元(14)形成至少一個(gè)校準(zhǔn)單元群組，其每個(gè)具有：
- 兩個(gè)單元行(18)，其每個(gè)具有多個(gè)第一單元(19)，單元行(18)的所述第一單元(19)的中心各自布置在沿第一制品坐標(biāo)方向(ZS)的線上，并且這些線在相對(duì)于所述第一制品坐標(biāo)方向(ZS)以直角取向的第二制品坐標(biāo)方向(XS)上以單元行距離(dr)布置，單元行(18)的在所述第一制品坐標(biāo)方向(ZS)上直接相鄰的兩個(gè)第一單元(19)的中心各自具有相同的第一單元距離(d1)，
- 由第二單元(21)構(gòu)成的單元矩陣(20)，所述第二單元(21)在所述第一制品坐標(biāo)方向(ZS)上形成多個(gè)行(23)并且在所述第二制品坐標(biāo)方向(XS)上形成所述單元矩陣(20)的多個(gè)列(22)，在行(23)和/或列(22)中直接相鄰的兩個(gè)第二單元(21)的中心具有第二單元距離(d2)，
- 實(shí)心圓表面(29)，其由不透明材料完全填充，
- 圓形區(qū)域，其被由不透明材料制成的圓形邊界(30)完全圍繞。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，一個(gè)單元行(18)的第一單元(19)的中心和另一單元行(18)的第一單元(19)的中心布置在沿所述第二制品坐標(biāo)方向(XS)延伸的線上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，在相同校準(zhǔn)單元群組內(nèi)，所述第二單元距離(d2)小于所述第一單元距離(d1)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，相同校準(zhǔn)單元群組內(nèi)的所述第一單元距離(d1)是所述第二單元距離(d2)的整數(shù)倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，所述單元行距離(dr)是所述第二單元距離(d2)的整數(shù)倍。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，相同校準(zhǔn)單元群組內(nèi)在所述第一制品坐標(biāo)方向(ZS)上的所述兩個(gè)單元行(18)繼續(xù)穿過(guò)相應(yīng)單元矩陣(20)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，存在兩個(gè)校準(zhǔn)單元群組，并且所述校準(zhǔn)單元群組中的一者的所述兩個(gè)單元行(18)的多個(gè)第一單元(19)布置在相應(yīng)另一個(gè)校準(zhǔn)單元群組的所述單元矩陣(20)的所述第二單元(21)之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，存在至少一個(gè)另外的校準(zhǔn)單元(14)，其形成測(cè)試圖案以確定光學(xué)檢測(cè)單元的分辨率。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，所述至少一個(gè)測(cè)試圖案(27)具有圓形形狀，其具有由不透明材料制成的圓扇形(28)，所述圓扇形(28)彼此以一距離在周向方向上規(guī)則分布布置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，存在呈至少一個(gè)直線形式的至少一個(gè)另外的校準(zhǔn)單元(14)，其在所述第一制品坐標(biāo)方向(ZS)或所述第二制品坐標(biāo)方向(XS)上延伸。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，所述至少一個(gè)測(cè)試圖案(27)表示與多個(gè)校準(zhǔn)單元群組相關(guān)聯(lián)的校準(zhǔn)單元(14)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的校準(zhǔn)制品，其特征在于，所述至少一個(gè)直線表示與多個(gè)校準(zhǔn)單元群組相關(guān)聯(lián)的校準(zhǔn)單元(14)。
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