[實用新型]一種管式PECVD的真空反應爐管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822156152.7
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209537622U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李明;郭艷;吳德軼;張春成
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;戴玲

1.一種管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：包括石英管(1)、加熱爐體(2)、前端保溫棉圈(3)、后端保溫棉圈(4)、前端法蘭及爐門組件(5)、后端法蘭組件(6)以及兩個電極桿(7)，所述前端保溫棉圈(3)、后端保溫棉圈(4)和加熱爐體(2)套于石英管(1)外側(cè)，且加熱爐體(2)兩端通過前端法蘭及爐門組件(5)和后端法蘭組件(6)密封，所述前端法蘭及爐門組件(5)位于石英管(1)的前端并與前端保溫棉圈(3)相鄰，所述后端法蘭組件(6)位于石英管(1)的后端并與后端保溫棉圈(4)相鄰，所述石英管(1)內(nèi)設(shè)有至少一根紅外加熱管(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：所述紅外加熱管(8)的波長為短波長，其短波長的范圍為0.76μm～1.6μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：各紅外加熱管(8)設(shè)置在石英管(1)內(nèi)石墨舟(9)上方，各紅外加熱管(8)的軸線之間的連接形成一個圓弧。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：相鄰兩個紅外加熱管(8)之間的距離相等。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：兩個電極桿(7)的電極相反，分別與石英管(1)內(nèi)石墨舟(9)上的兩個電極孔連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：所述石英管(1)內(nèi)設(shè)有檢測內(nèi)部溫度的內(nèi)熱偶，所述內(nèi)熱偶固定于后端法蘭組件(6)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：所述前端法蘭及爐門組件(5)包括依次設(shè)置的前端進氣法蘭(51)、前端水冷法蘭(52)、前端固定法蘭(53)和爐門(54)，所述前端進氣法蘭(51)和前端水冷法蘭(52)之間安裝有密封圈，所述爐門(54)和前端進氣法蘭(51)之間安裝有密封圈。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項所述的管式PECVD的真空反應爐管，其特征在于：所述后端法蘭組件(6)包括依次設(shè)置的后端端面法蘭(61)、后端過渡法蘭(62)、后端水冷法蘭(63)和后端固定法蘭(64)，所述后端端面法蘭(61)與后端過渡法蘭(62)之間安裝有密封圈，所述后端過渡法蘭(62)和后端水冷法蘭(63)之間安裝有密封圈。