[實用新型]一種真空鍍膜臥式爐內(nèi)壁結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822155628.5
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209169102U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 夏原
• 申請（專利權(quán)）人: 包頭中科泰磁涂層科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本實用新型公開了一種真空鍍膜臥式爐內(nèi)壁結(jié)構(gòu)，包括鍍膜爐壁，鍍膜爐壁包括桶基層、不銹鋼隔熱屏層和鉬隔熱屏層，不銹鋼隔熱屏層的外側(cè)和內(nèi)側(cè)分別與桶基層無縫、鉬隔熱屏層無縫連接，桶基層內(nèi)部設(shè)有水冷夾層和隔熱夾層，鉬隔熱屏層內(nèi)壁上均勻安裝有若干半球凸塊，且鉬隔熱屏內(nèi)壁和半球凸塊側(cè)面均涂有陶瓷涂料層，半球凸塊與小型工件接觸面積極小，工件鍍膜效率高，解決了靶及靶表面落料問題，大大提高產(chǎn)品合格率，多個不銹鋼隔熱屏、多個鉬隔熱屏和隔熱夾層內(nèi)的隔熱物質(zhì)疊加能起到很好地隔熱作用，使散發(fā)到外界的熱量降低到最小，極大地降低了熱量損失，從而使熱量更好地得以保存，節(jié)省了真空鍍膜的電功率和成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種真空鍍膜臥式爐內(nèi)壁結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

真空鍍膜設(shè)備，主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

臥式真空鍍膜爐可加工的材料包括ABS、PS、PP、PVC、尼龍、金屬、玻璃、TPU等，鍍制效果有：普通電鍍涼面、啞面、工藝電鍍皺紋、拉絲、雨滴、七彩等。

需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。基片與靶材同在真空腔中。

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長) 形成薄膜。對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。

但是，現(xiàn)有的臥式真空鍍膜爐存在以下缺陷：

(1)爐壁結(jié)構(gòu)簡單，保溫效果不好，因此消耗熱能較大，鍍膜消耗電功率變大，成本高；

(2)在對小型工件鍍膜時，爐壁經(jīng)常會使工件的某個面被遮擋而得不到鍍膜，鍍膜效率低，且工件鍍膜完畢后，容易與爐壁接觸摩擦而脫落膜料，從而造成鍍膜不完整。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)方案的不足，本實用新型提供一種真空鍍膜臥式爐內(nèi)壁結(jié)構(gòu)，半球凸塊與小型工件接觸面積極小，工件鍍膜效率高，解決了靶及靶表面落料問題，大大提高產(chǎn)品合格率，多個不銹鋼隔熱屏、多個鉬隔熱屏和隔熱夾層內(nèi)的隔熱物質(zhì)疊加能起到很好地隔熱作用，使散發(fā)到外界的熱量降低到最小，極大地降低了熱量損失，從而使熱量更好地得以保存，節(jié)省了真空鍍膜的電功率和成本，能有效的解決背景技術(shù)提出的問題。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種真空鍍膜臥式爐內(nèi)壁結(jié)構(gòu)，包括鍍膜爐壁，所述鍍膜爐壁包括桶基層、不銹鋼隔熱屏層和鉬隔熱屏層，所述的不銹鋼隔熱屏層的外側(cè)與桶基層無縫連接，且不銹鋼隔熱屏層內(nèi)側(cè)與鉬隔熱屏層無縫連接；

所述桶基層內(nèi)部設(shè)有水冷夾層和隔熱夾層，所述隔熱夾層位于水冷夾層的外側(cè)，所述鉬隔熱屏層內(nèi)壁上還均勻安裝有若干半球凸塊，且鉬隔熱屏內(nèi)壁和半球凸塊側(cè)面均涂有陶瓷涂料層。

進一步地，所述不銹鋼隔熱屏層由-層環(huán)形的不銹鋼隔熱屏采用沖壓工藝而制成，所述鉬隔熱屏層由-層環(huán)形的鉬隔熱屏采用沖壓工藝而制成。

進一步地，所述水冷夾層的頂端和底端分別連接有出水口和進水口，所述出水口和進水口上均安裝有水孔堵塊。

進一步地，所述隔熱夾層內(nèi)填充有隔熱棉和氣凝膠氈。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：