[實用新型]一種濺射靶材裁板夾具

有效

• 申請號: 201822152642.X
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209532744U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 張揚;盧建棟
• 申請（專利權）人: 東曹（上海）電子材料有限公司
• 主分類號: B23Q3/06
• 分類號: B23Q3/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種濺射靶材裁板夾具，包括工作臺（1），其特征在于：所述工作臺（1）上安裝有3個以上的固定底座（4），所述固定底座（4）上固定連接有固定承接塊（9），所述固定底座（4）上滑動連接有活動承接塊（10），所述固定底座（4）上設置有調節組件，所述調節組件用于調節所述固定承接塊（9）與所述活動承接塊（10）之間的距離，所述固定底座（4）上可拆卸的固定連接有托舉件；

當濺射靶材（12）安裝在所述工作臺（1）上時，所述固定承接塊（9）與所述活動承接塊（10）抵接所述濺射靶材（12）的兩側，所述托舉件抵接所述濺射靶材（12）靠近所述工作臺（1）的面。

2.根據權利要求1所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述固定承接塊（9）和所述活動承接塊（10）均固定連接有限位臺階（11），所述限位臺階（11）遠離所述工作臺（1）的面抵接所述濺射靶材（12）。

3.根據權利要求2所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述限位臺階（11）的長度大小大于所述固定底座（4）在所述限位臺階（11）長度方向上的長度大小。

4.根據權利要求1所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述托舉件包括托舉桿（14）和固定連接在所述托舉桿（14）上的托舉盤（16），托舉桿（14）可拆卸的固定連接在所述固定底座（4）上，所述托舉盤（16）抵接所述濺射靶材（12）靠近所述工作臺（1）的一面。

5.根據權利要求4所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述固定底座（4）上固定連接有調節螺柱（13），所述托舉桿（14）套接在所述調節螺柱（13）上，所述調節螺柱（13）上螺紋連接有調節螺母（15），所述調節螺母（15）將所述托舉桿（14）抵緊在所述固定底座（4）上。

6.根據權利要求4所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述托舉盤（16）接觸所述濺射靶材（12）的面設置為平滑面。

7.根據權利要求1所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述調節組件包括固定連接在固定底座（4）上的抵接塊（5）和滑動連接在固定底座（4）上的定位塊（6），所述固定承接塊（9）與所述抵接塊（5）固定連接，所述活動承接塊（10）與所述定位塊（6）固定連接，所述抵接塊（5）上轉動連接有螺紋柱（7），所述螺紋柱（7）與所述定位塊（6）螺紋連接，所述螺紋柱（7）穿過所述抵接塊（5）的一端固定連接有旋轉部（8）。

8.根據權利要求1所述的濺射靶材裁板夾具，其特征在于：所述工作臺（1）上開設有安裝滑槽（2），所述固定底座（4）固定連接有滑移塊（3），所述滑移塊（3）與所述安裝滑槽（2）形狀匹配并滑動連接。