[實用新型]一種硅芯測試機構

有效

• 申請號: 201822151985.4
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209311578U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 趙永堂
• 申請（專利權）人: 河南協鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: G01R27/14
• 分類號: G01R27/14
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張春;王曉麗

本實用新型提供一種提高測試效率的硅芯測試機構，包括用于放置硅芯的硅芯支架和用于檢測硅芯的的測試探頭，測試探頭方向向上，位于硅芯支架上的硅芯依靠自重能夠壓觸的位置。測試探頭設置在探頭安裝架上且測試探頭上下位置可調。測試探頭上設置探針，探針位于測試探頭上端且方向向上。硅芯支架上設置放置硅芯的卡槽，卡槽為方形槽且卡槽的寬度可以調節。本實用新型方硅芯放置到正確位置后，不需員工逐個在方硅芯壓點處拿測試探頭的探針施壓并固定，直接利用硅芯自重進行觸壓探頭探針，進行測試。

技術領域

本實用新型屬于硅芯生產領域，具體涉及一種硅芯測試機構。

背景技術

硅芯電阻率的測量是多晶硅生產過程中必要的工藝流程。以方硅芯為例，通過測量方硅芯電阻率，能夠判斷所產出方硅芯的導電程度如何，以及判斷方硅芯內的雜質含量范圍。在還原爐進行多晶硅棒生產之前，需要保證各臺還原爐內的方硅芯的電阻率較為均勻，并且屬于同一種導電型號，因此，準確快速地測量出方硅芯的電阻率對多晶硅的生產具有重要的意義。

現有所用兩探針測試儀，配有精度較高的恒流源，保證測量電流高度穩定，測量的電流是從方硅芯兩端進出，測試探頭分別測試方硅芯各壓點處電壓，根據電流、電壓、方硅芯尺寸等關系，自動計算出各壓點處電阻率。該兩探針測試儀由一個測試支架、一個測試探頭和一個信號傳輸計算系統組成，每個測試支架固定一個測試探頭，測試探頭另一端有相應的傳輸線路與信號傳輸計算系統相連。測試時，方硅芯直接放置在測試平臺的潔凈桌面上，無專門的方硅芯支架。傳統的測試過程為：兩名員工拿取細長條狀的方硅芯放置到支架上，在方硅芯兩邊施加穩定電流，然后由一名員工依次拿住一個測試探頭在對應方硅芯總長20%、50%、80%處垂直向下進行按壓測試，探針壓力達到標準后對探頭進行固定，此時另外一名員工開始通過信號傳輸計算系統端電腦依次對三點電阻率值錄入測試系統。方硅芯實際放置過程中，由于硅芯長達2400mm-3200mm，員工難以一次性放置合格，即方硅芯總長度的20%、50%、80%處剛好與測試標記點對準。方硅芯屬于高純度產品，潔凈度要求非常嚴格，不能直接在硅芯表面做標記，目前方法是：在測試臺桌面上標記出各長度方硅芯三個測試點位置，不同長度方硅芯需員工調整對應測試標記點，需要兩個員工同時進行多次調整。方硅芯放置到正確位置后，需員工拿取一個測試探頭逐個在方硅芯測試點處施壓并固定，進行測試，這個過程浪費員工大量操作時間；每支方硅芯都需要對測試探頭固定架進行松開、擰緊循環動作，不僅浪費時間，而且大大提高了探頭固定架的損壞風險。

在實際生產運營過程中，傳統測試過程測試完一支方硅芯所需時間為65s，員工一天凈在崗時間為7h，一天僅可完成387支方硅芯電阻率的測試任務，效率較低。每天至少有1000支的方硅芯產量，這遠遠超出了方硅芯電阻率測試速度的最大能力，需要一種增加方硅芯電阻率測量效率的機構。

實用新型內容

本實用新型提供一種提高測試效率的硅芯測試機構。

本實用新型的目的是以下述方式實現的：一種硅芯電阻率測試機構，包括用于放置硅芯的硅芯支架和用于檢測硅芯的的測試探頭，測試探頭方向向上，位于硅芯支架上的硅芯依靠自重能夠壓觸的位置。

測試探頭設置在探頭安裝架上且測試探頭上下位置可調。

測試探頭上設置探針，探針位于測試探頭上端且方向向上。

硅芯支架上設置放置硅芯的卡槽，卡槽為方形槽且卡槽的寬度可以調節。

硅芯支架包括支架底座，支架底座頂端設置兩個螺絲孔，螺紋孔內設置調節螺栓；支架底座頂端設置兩個滑塊，兩個滑塊之間構成卡槽；滑塊上設置長孔，調節螺栓穿過長孔壓緊滑塊與支架底座。

支撐臺上設置3個測試探頭和3個硅芯支架。