[實用新型]一種貼片固化設備的真空系統

有效

• 申請號: 201822151001.2
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209217005U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 王會;劉品德;朱速鋒;戴向榮
• 申請（專利權）人: 蘇州南北深科智能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛;李萍

1.一種貼片固化設備的真空系統，包括真空模組，其特征在于：所述真空模組具有空腔，所述空腔中具有真空度，所述真空模組上設有網孔板，所述網孔板上開設有多個網孔，所述網孔與所述空腔相互連通。

2.根據權利要求1所述的真空系統，其特征在于：所述網孔板上設有加熱裝置。

3.根據權利要求2所述的真空系統，其特征在于：所述網孔自所述網孔板的上表面貫通至所述網孔板的下表面，所述網孔板的側表面上開設有沿水平方向延伸的安裝孔，所述加熱裝置水平地插設于所述安裝孔中。

4.根據權利要求1所述的真空系統，其特征在于：所述網孔板固定設置于所述真空模組的頂部。

5.根據權利要求4所述的真空系統，其特征在于：所述真空模組包括真空槽，所述網孔板固定設置于所述真空槽的頂部。

6.根據權利要求1所述的真空系統，其特征在于：所述真空系統還包括用于對所述真空模組抽真空的真空裝置。

7.根據權利要求6所述的真空系統，其特征在于：所述真空裝置包括第一真空泵、第二真空泵及第三真空泵，所述第一真空泵與中部的真空模組連通，所述第二真空泵、所述第三真空泵分別與兩端的真空模組連通。

8.根據權利要求7所述的真空系統，其特征在于：所述真空系統還包括用于降低進入所述真空裝置的氣體的溫度的真空冷卻裝置，所述真空冷卻裝置連接于所述真空模組和所述第一真空泵之間。

9.根據權利要求8所述的真空系統，其特征在于：所述第一真空泵具有排氣口，所述排氣口通過排氣管路將所述第一真空泵抽出的氣體回流至貼片固化設備的加熱固化區。

10.根據權利要求1所述的真空系統，其特征在于：所述網孔板上設有用于輸送太陽能電池片的傳送帶。