[實用新型]蒸發源裝置和共蒸發設備

有效

• 申請號: 201822150426.1
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209798078U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 王嵐
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/06
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜;黃燦

本實用新型提供一種蒸發源裝置和共蒸發設備，其中蒸發源裝置包括：加熱裝置，所述加熱裝置用于加熱源材料，使所述源材料形成蒸氣；蒸氣分配裝置，所述蒸氣分配裝置的一端與所述加熱裝置連通，所述蒸氣分配裝置上間隔開設有至少兩個朝向所述基板的蒸氣噴孔，所述蒸氣經由所述蒸氣噴孔噴射出。這樣，蒸氣即可沿著蒸氣分配裝置，經由蒸氣噴孔噴射出來。將待沉積的基板固定朝向蒸氣噴孔，源材料蒸氣即可均勻沉積到基板上，進而提高基板上源材料沉積的均勻性。此外，由于多個蒸氣噴孔直接朝向基板噴射源材料蒸氣，相對在整個腔室內形成源材料蒸氣的沉積方案，減少了源材料浪費。

技術領域

本實用新型涉及加工技術領域，尤其涉及一種蒸發源裝置和共蒸發設備。

背景技術

現有的加工技術中，尤其是CIGS薄膜太陽能電池的基板沉積堿金屬的工藝中，通常摻雜用到的堿金屬材料主要包括鈉和鉀，對于鈉主要采用沉積氟化鈉預置層的前摻方式，對于鉀主要采用沉積氟化鉀的后摻方式，兩者的沉積用獨立腔室蒸發室，采用點加熱源的沉積方式。點加熱源的沉積方式容易造成堿金屬沉積不均勻。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種蒸發源裝置和共蒸發設備，以解決現有沉積方式存在沉積不均勻的技術問題。

為了達到上述目的，本實用新型實施例提供的具體方案如下：

第一方面，本實用新型實施例提供了一種蒸發源裝置，用于向基板沉積源材料，所述蒸發源裝置包括：

加熱裝置，所述加熱裝置用于加熱源材料，使所述源材料形成蒸氣；

蒸氣分配裝置，所述蒸氣分配裝置與所述加熱裝置連通，所述蒸氣分配裝置上間隔開設有至少兩個蒸氣噴孔，所述蒸氣經由所述蒸氣噴孔噴射出。

可選的，所述加熱裝置內設置有坩堝和加熱器，所述加熱器用于加熱所述坩堝，所述蒸氣分配裝置與所述坩堝連通。

可選的，所述加熱裝置還包括送料端口，所述送料端口與所述坩堝連通，所述送料端口上蓋合有蓋板。

可選的，所述蒸氣分配裝置為石英管。

可選的，所述蒸氣噴孔的數量為至少三個，至少三個所述蒸氣噴孔等間隔排布。

可選的，全部所述蒸氣噴孔均朝向同一平面。

可選的，所述蒸氣分配裝置與所述加熱裝置活動連接，用于調節全部所述蒸氣噴孔的朝向角度。

第二方面，本實用新型實施例提供了一種共蒸發設備，包括蒸發室以及第一方面中任一項所述的蒸發源裝置；

所述蒸發源裝置設置于所述蒸發室內，所述蒸發室內還設置有用于承載基板的承載組件，所述蒸發源裝置的所述蒸氣噴孔朝向所述基板。

可選的，所述承載組件包括活動軸和夾持件，所述活動軸的一端固定設置于所述蒸發室內，所述活動軸的另一端與所述夾持件連接，所述活動軸用于帶動所述夾持件將所述基板固定在朝向所述蒸氣噴孔的位置。

可選的，所述夾持件與所述蒸氣噴孔的距離范圍為20厘米至30厘米。

本實用新型實施例提供的蒸發源裝置，包括加熱裝置和蒸氣分配裝置，將與加熱裝置連通的蒸氣分配裝置上間隔開設至少兩個蒸氣噴孔。通過在加熱裝置內加熱源材料形成蒸氣，這樣，蒸氣即可沿著蒸氣分配裝置，經由蒸氣噴孔噴射出來。將待沉積的基板固定朝向蒸氣噴孔，源材料蒸氣即可均勻沉積到基板上，進而提高基板上源材料沉積的均勻性。此外，由于多個蒸氣噴孔直接朝向基板噴射源材料蒸氣，相對在整個腔室內形成源材料蒸氣的沉積方案，減少了源材料浪費。

附圖說明